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YS/T 1068-2015 制备钌靶用钌粉
Ruthenium powder for ruthenium sputttering target
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
冶金（77）
有色金属产品（77.150）
铜产品（77.150.30）
】、
【
冶金（77）
有色金属产品（77.150）
其他有色金属产品（77.150.99）
】
-
CCS分类：
【
冶金（H）
有色金属及其合金产品（H60/69）
重金属及其合金（H62）
】、
【
冶金（H）
有色金属及其合金产品（H60/69）
贵金属及其合金（H68）
】
-
行标分类：
描述信息
-
前言：
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)提出并归口。
本标准起草单位:贵研铂业股份有限公司、有色金属技术经济研究院。
本标准起草人:谭志龙、郭俊梅、张俊敏、向磊、王传军、毕珺、闻明、管伟明、陈松、朱武勋。
-
适用范围：
本标准规定了硬盘及集成电路行业钌系溅射靶材用钌粉的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同（或订货单）内容。
本标准适用于制备硬盘及集成电路行业钌系溅射靶材用钌粉（以下简称钌粉）。
-
引用标准：
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T5162 金属粉末 振实密度的测定
GB/T6524 金属粉末 粒度分布的测量 重力沉降光透法
GB/T23275 钌粉化学成分分析方法 铅、铁、镍、铝、铜、银、金、铂、铱、钯、铑、硅量的测定 辉光放电质谱法
HB5220.3 高温合金化学分析方法 第3部分:高频感应燃烧-红外线吸收法测定碳含量
HB5220.49 高温合金化学分析方法 第49部分:脉冲加热-红外、热导法测定氧、氮含量
相关标准
相关部门
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起草单位：
有色金属技术经济研究院
贵研铂业股份有限公司
相关人员
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