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YS/T 1068-2015 制备钌靶用钌粉

Ruthenium powder for ruthenium sputttering target
基本信息
  • 标准号:
    YS/T 1068-2015
  • 名称:
    制备钌靶用钌粉
  • 英文名称:
    Ruthenium powder for ruthenium sputttering target
  • 状态:
    现行
  • 类型:
    行业标准
  • 性质:
    推荐性
  • 发布日期:
    2015-04-30
  • 实施日期:
    2015-10-01
  • 废止日期:
    暂无
  • 相关公告:
分类信息
描述信息
  • 前言:
    本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
    本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)提出并归口。
    本标准起草单位:贵研铂业股份有限公司、有色金属技术经济研究院。
    本标准起草人:谭志龙、郭俊梅、张俊敏、向磊、王传军、毕珺、闻明、管伟明、陈松、朱武勋。
  • 适用范围:
    本标准规定了硬盘及集成电路行业钌系溅射靶材用钌粉的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同(或订货单)内容。
    本标准适用于制备硬盘及集成电路行业钌系溅射靶材用钌粉(以下简称钌粉)。
  • 引用标准:
    下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
    GB/T5162 金属粉末 振实密度的测定
    GB/T6524 金属粉末 粒度分布的测量 重力沉降光透法
    GB/T23275 钌粉化学成分分析方法 铅、铁、镍、铝、铜、银、金、铂、铱、钯、铑、硅量的测定 辉光放电质谱法
    HB5220.3 高温合金化学分析方法 第3部分:高频感应燃烧-红外线吸收法测定碳含量
    HB5220.49 高温合金化学分析方法 第49部分:脉冲加热-红外、热导法测定氧、氮含量
相关标准
  • 引用标准:
    GB/T 5162 GB/T 6524 GB/T 23275 HB 5220.3 HB 5220.49
相关部门
  • 起草单位:
    有色金属技术经济研究院 贵研铂业股份有限公司
相关人员
暂无