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YS/T 1060-2015 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法

Determination of other chlorosilane in trichlorosilane for silicon eqitaxy—Gas chromatographic method
基本信息
  • 标准号：
    YS/T 1060-2015
  • 名称：
    硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法
  • 英文名称：
    Determination of other chlorosilane in trichlorosilane for silicon eqitaxy—Gas chromatographic method
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    行业标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2015-04-30
  • 实施日期：
    2015-10-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【2015年第7号(总第187号)】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
    本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)提出并归口。
    本标准起草单位:中锗科技有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司。
    本标准主要起草人:刘新军、刘英杰、郑华荣、柯尊斌、赵建为、孔令群、伍永胜、张云晖、杨红燕。
  • 适用范围：
    本标准规定了硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷(包括二氯二氢硅、四氯化硅)含量的气相色谱测定方法。
    本标准适用于硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷(包括二氯二氢硅、四氯化硅)含量的测定。测定下限为0.002%。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
暂无
相关部门
  • 起草单位：
    中锗科技有限公司 江苏中能硅业科技发展有限公司 昆明冶研新材料股份有限公司
相关人员
暂无
关联标准