收藏到云盘
纠错反馈
YS/T 1060-2015 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法
Determination of other chlorosilane in trichlorosilane for silicon eqitaxy—Gas chromatographic method
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
冶金（77）
金属材料试验（77.040）
金属材料化学分析（77.040.30）
】
-
CCS分类：
【
冶金（H）
金属化学分析方法（H10/19）
半金属及半导体材料分析方法（H17）
】
-
行标分类：
描述信息
-
前言：
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)提出并归口。
本标准起草单位:中锗科技有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司。
本标准主要起草人:刘新军、刘英杰、郑华荣、柯尊斌、赵建为、孔令群、伍永胜、张云晖、杨红燕。
-
适用范围：
本标准规定了硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷(包括二氯二氢硅、四氯化硅)含量的气相色谱测定方法。
本标准适用于硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷(包括二氯二氢硅、四氯化硅)含量的测定。测定下限为0.002%。
-
引用标准：
暂无
相关标准
相关部门
相关人员
关联标准
-
YS/T 990.3-2014
冰铜化学分析方法 第3部分：硫量的测定 重量法和燃烧滴定法
-
YS/T 309-1998
重熔用铝稀土合金锭
-
YS/T 938.4-2013
齿科烤瓷修复用金基和钯基合金化学分析方法 第4部分：金、铂、钯、铜、锡、铟、锌、镓、铍、铁、锰、锂量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法
-
YS/T 1502-2021
钌化合物化学分析方法 铂、钯、铑、铱、金、银、铜、铁、镍、镁、锰、铅、锌、钙、钠含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法
-
YS/T 244.2-2008
高纯铝化学分析方法 第2部分：钼蓝萃取光度法测定硅含量
-
YS/T 1248-2018
硬质合金防滑钉
-
GB/T 6526-1986
自熔合金粉末固-液相线温度区间的测定方法
-
YS/T 256-2009
氧化钴
-
YS/T 745.3-2010
铜阳极泥化学分析方法 第3部分：铂量和钯量的测定 火试金富集-电感耦合等离子体发射光谱法
-
YS/T 1421-2021
铝用炭素焙烧能耗测试方法
-
YS/T 1179.3-2017
铝渣化学分析方法 第3部分：碳、氮含量的测定 元素分析仪法
-
YS/T 990.4-2014
冰铜化学分析方法 第4部分：铋量的测定 原子吸收光谱法
-
YS/T 1177-2017
铝渣
-
YS/T 1512.6-2021
铜冶炼烟尘化学分析方法 第6部分：铟含量的测定 火焰原子吸收光谱法
-
YS/T 820.12-2012
红土镍矿化学分析方法 第12部分：锰量的测定 火焰原子吸收光谱法
-
YS/T 429.1-2000
铝幕墙板 板基
-
YS/T 1492-2021
铂/二氧化钛
-
DB41/T 1050-2015
河南省硅铁化学分析方法 红外线吸收法测定硫量
-
YS/T 3036—2020
黄金选冶金属平衡技术规范 金精矿焙烧工艺
-
YS/T 1443-2021
镍钴二元素复合氢氧化物
打开设置，点击
执行注册
