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YS/T 1060-2015 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法
Determination of other chlorosilane in trichlorosilane for silicon eqitaxy—Gas chromatographic method
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
冶金（77）
金属材料试验（77.040）
金属材料化学分析（77.040.30）
】
-
CCS分类：
【
冶金（H）
金属化学分析方法（H10/19）
半金属及半导体材料分析方法（H17）
】
-
行标分类：
描述信息
-
前言：
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)提出并归口。
本标准起草单位:中锗科技有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司。
本标准主要起草人:刘新军、刘英杰、郑华荣、柯尊斌、赵建为、孔令群、伍永胜、张云晖、杨红燕。
-
适用范围：
本标准规定了硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷(包括二氯二氢硅、四氯化硅)含量的气相色谱测定方法。
本标准适用于硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷(包括二氯二氢硅、四氯化硅)含量的测定。测定下限为0.002%。
-
引用标准：
暂无
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