收藏到云盘
纠错反馈
YS/T 1060-2015 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法
Determination of other chlorosilane in trichlorosilane for silicon eqitaxy—Gas chromatographic method
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
冶金（77）
金属材料试验（77.040）
金属材料化学分析（77.040.30）
】
-
CCS分类：
【
冶金（H）
金属化学分析方法（H10/19）
半金属及半导体材料分析方法（H17）
】
-
行标分类：
描述信息
-
前言：
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)提出并归口。
本标准起草单位:中锗科技有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司。
本标准主要起草人:刘新军、刘英杰、郑华荣、柯尊斌、赵建为、孔令群、伍永胜、张云晖、杨红燕。
-
适用范围：
本标准规定了硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷(包括二氯二氢硅、四氯化硅)含量的气相色谱测定方法。
本标准适用于硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷(包括二氯二氢硅、四氯化硅)含量的测定。测定下限为0.002%。
-
引用标准：
暂无
相关标准
相关部门
相关人员
关联标准
-
YS/T 276.4-2011
铟化学分析方法 第4部分：铝量的测定 铬天青S分光光度法
-
YS/T 445.17-2021
银精矿化学分析方法？第17部分：二氧化硅含量的测定？钼蓝分光光度法
-
GB/T 19922-2005
硅片局部平整度非接触式标准测试方法
-
YS/T 583-2016
热锻水暖管件用黄铜棒
-
YS/T 656-2007
铌及铌合金加工产品牌号和化学成分
-
YS/T 820.17-2012
红土镍矿化学分析方法 第17部分：砷、锑、铋量的测定 氢化物发生-原子荧光光谱法
-
DB34/T 2271-2014
安徽省冷杂铜 铜、砷、铅、铋、锑、锌、镍量的测定 电解-电感耦合等离子体原子发射光谱法
-
GB/T 7998-1987
铝合金晶间腐蚀测定方法
-
YS/T 254.1-2011
铍精矿、绿柱石化学分析方法 第1部分：氧化铍量的测定 磷酸盐重量法
-
YS/T 889-2013
粉末冶金用再生镍粉
-
YS/T 770-2011
铝及铝合金圆片
-
YS/T 435-2000
易拉罐罐体用铝合金带材
-
YS/T 1249-2018
钛铝金属间化合物多孔膜材料
-
YS/T 1080-2015
硫酸铯
-
YS/T 1075.2-2015
钒铝、钼铝中间合金化学分析方法 第2部分：钼量的测定 钼酸铅重量法
-
YS/T 53.3-1992
铜,铅,锌原矿和尾矿化学分析方法火焰原子吸收光谱法测定银量
-
YS/T 1071-2015
双氧水用废催化剂化学分析方法 钯量的测定 分光光度法
-
YS/T 921-2013
冰铜
-
YS/T 22-2010
锑酸钠
-
YS/T 23-1992
硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法
打开设置，点击
执行注册
