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YS/T 15-2015 硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法

Test method for thickness of epitaxial layers and diffused layers by angle lap stain
基本信息
  • 标准号：
    YS/T 15-2015
  • 名称：
    硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法
  • 英文名称：
    Test method for thickness of epitaxial layers and diffused layers by angle lap stain
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    行业标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2015-04-30
  • 实施日期：
    2015-10-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【2015年第7号(总第187号)】
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分类信息
  • ICS分类：
    【 冶金（77） 金属材料试验（77.040） 】
  • CCS分类：
    【 冶金（H） 金属理化性能试验方法（H20/29） 金属物理性能试验方法（H21） 】
  • 行标分类：
    【 有色冶金（YS） 】
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了测定硅外延层和扩散层厚度的磨角染色法。
    本标准适用于外延层和扩散层与衬底导电类型不同或两层电阻率相差至少一个数量级的任意电阻率的硅外延层和扩散层厚度的测量，测量范围为1 μm～100 μm。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 代替标准：
    YS/T 15-1991
  • 引用标准：
    GB/T 1550 GB/T 6617-2009 GB/T 14146 GB/T 14264 GB/T 14847
相关部门
  • 起草单位：
    南京国盛电子有限公司 有研新材料股份有限公司 上海晶盟硅材料有限公司
相关人员
暂无
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