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YS/T 14-2015 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法
Test method for thickness of heteroepitaxy layers and polycrystalline layers
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
冶金（77）
金属材料试验（77.040）
】
-
CCS分类：
【
冶金（H）
金属理化性能试验方法（H20/29）
金属物理性能试验方法（H21）
】
-
行标分类：
描述信息
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