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YS/T 14-2015 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法

Test method for thickness of heteroepitaxy layers and polycrystalline layers
基本信息
  • 标准号：
    YS/T 14-2015
  • 名称：
    异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法
  • 英文名称：
    Test method for thickness of heteroepitaxy layers and polycrystalline layers
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    行业标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2015-04-30
  • 实施日期：
    2015-10-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【2015年第7号(总第187号)】
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分类信息
  • ICS分类：
    【 冶金（77） 金属材料试验（77.040） 】
  • CCS分类：
    【 冶金（H） 金属理化性能试验方法（H20/29） 金属物理性能试验方法（H21） 】
  • 行标分类：
    【 有色冶金（YS） 】
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法。
    本标准适用于测量衬底与沉积层之间界面层厚度小于100 nm的异质外延层和硅多晶层的厚度测量范围为1 μm~100 μm。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 代替标准：
    YS/T 14-1991
  • 引用标准：
    GB/T 6617 GB/T 14264 GB/T 14847
相关部门
  • 起草单位：
    南京国盛电子有限公司 有研新材料股份有限公司 上海晶盟硅材料有限公司
相关人员
暂无
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