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YS/T 1053-2015 电子薄膜用高纯钴靶材
High-purity cobalt sputtering target used in electronic film
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
冶金（77）
有色金属产品（77.150）
镉和钴产品（77.150.70）
】
-
CCS分类：
【
冶金（H）
有色金属及其合金产品（H60/69）
重金属及其合金（H62）
】
-
行标分类：
描述信息
-
前言：
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)提出并归口。
本标准负责起草单位:宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司。
本标准主要起草人:王学泽、李勇军、郑文翔、罗俊锋、袁海军、熊晓东、陈勇军、刘丹、陆彤、袁洁、张涛。
-
适用范围：
本标准规定了电子薄膜用高纯钴靶材(以下简称高纯钴靶)的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货单(或合同)内容。
本标准适用于电子薄膜制造用的各类高纯钴靶。
-
引用标准：
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
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