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GB/T 31563-2015 金属覆盖层 厚度测量 扫描电镜法
Metallic coatings—Measurement of coating thickness—Scanning electron microscope method
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
机械制造（25）
表面处理和镀涂（25.220）
金属镀层（25.220.40）
】
-
CCS分类：
【
综合（A）
基础标准（A20/39）
材料防护（A29）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
-
前言：
本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准修改采用ISO9220:1988《金属覆盖层 厚度测量 扫描电镜法》。
本标准与ISO9220:1988的主要技术差异如下:
———对照ISO9220:1988(9.2.1.2),本标准采用照相成像输出。由于技术发展,本标准修改采用计算机磁盘记录存储图像并标定。ISO 标准中涉及利用视频波形的信号目前设备已不采用,本标准采用分辨率更高的 EDS线扫描等技术。
———规范性引用文件替换为对应的我国标准,并增加了 GB/T27788—2011的引用。
本标准由中国机械工业联合会提出。
本标准由全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会(SAC/TC57)归口。
本标准起草单位:武汉材料保护研究所、清华大学、株洲钻石硬质合金厂、西安西电高压开关有限公司、重庆市计量质量检测研究院、东莞市五株电子科技有限公司、深圳市发斯特精密技术有限公司。
本标准主要起草人:李健、邵天敏、段海涛、刘秀生、陈利、马博、凃杰松、王鼎、于翔、曾国权、孙联和。
-
适用范围：
本标准规定了通过扫描电子显微镜（SEM）检测金属试样横截面局部厚度的方式测量金属涂层厚度的方法。它通常是一种破坏性的检测方式，不确定度小于10%，或者0.1 μm。该测量方法也可以用来测量几个毫米厚的涂层，但是对于这类厚涂层建议采用光学显微镜法（GB/T 6462）进行测量。
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引用标准：
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T6462 金属和氧化物覆盖层 厚度测量 显微镜法(GB/T6462—2005,ISO1463:2003,IDT)
GB/T12334 金属和其他非有机覆盖层 关于厚度测量的定义和一般规则(GB/T12334—2001,
ISO2064:1996,IDT)
GB/T27788—2011 微束分析 扫描电镜 图像放大倍率校准导则(ISO16700:2004,IDT)
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