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GB/T 31472-2015 X光电子能谱中荷电控制和荷电基准技术标准指南
Standard guide to charge control and charge referencing techniques in X-ray photoelectron spectroscopy
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
计量学和测量、物理现象（17）
电学、磁学、电和磁的测量（17.220）
电和磁量值的测量（17.220.20）
】
-
CCS分类：
【
仪器、仪表（N）
电工仪器仪表（N20/29）
综合测试系统（N26）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
-
前言：
本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本标准起草单位:信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司、天津中环领先材料技术有限公司。
本标准主要起草人:李雨辰、何秀坤、刘筠、刘兵、李翔。
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适用范围：
本标准规定了X射线光电子能谱（XPS）的荷电控制和荷电基准技术。本标准适用于XPS荷电控制和荷电定位技术，不适用于其他电子激发系统。
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引用标准：
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
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GB/T22571—2008 表面化学分析 X射线光电子能谱仪 能量标尺的校准
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