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GB/T 31470-2015 俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则

Standard practice for determination of the specimen area contributing to the detected signal in Auger electron spectrometers and some X-ray photoelectron spectrometers
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 31470-2015
  • 名称：
    俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则
  • 英文名称：
    Standard practice for determination of the specimen area contributing to the detected signal in Auger electron spectrometers and some X-ray photoelectron spectrometers
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2015-05-15
  • 实施日期：
    2016-01-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【关于批准发布《中国地震动参数区划图》等357项国家标准的公告】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。
    本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
    本标准起草单位:信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司、天津中环领先材料技术有限公司。
    本标准主要起草人:李雨辰、何秀坤、刘筠、刘兵、李翔。
  • 适用范围：
    本标准规定了俄歇电子能谱和部分类型的X射线光电子能谱检测信号对应样品区域的确定方法。本标准适用于俄歇电子能谱仪和具有以下条件的X射线光电子能谱：入射X光束激发的样品区域大于分析器可检测到的样品区域；光电子从样品到分析器入口的过程中经过自由空间；装配有辅助电子枪可以产生一束可变能量的电子束照射到样品上。
  • 引用标准：
    下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
    GB/T22461—2008 表面化学分析 词汇(ISO18115:2001,IDT)
    SJ/T10458—1993 俄歇电子能谱术和 X射线光电子能谱术的样品处理标准导则
相关标准
  • 引用标准：
    GB/T 22461-2008 SJ/T 10458-1993
相关部门
  • 起草单位：
    中国电子技术标准化研究院 天津中环领先材料技术有限公司 信息产业专用材料质量监督检验中心 苏州晶瑞化学有限公司
  • 归口单位：
    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
相关人员
暂无
关联标准