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GB/T 31470-2015 俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则
Standard practice for determination of the specimen area contributing to the detected signal in Auger electron spectrometers and some X-ray photoelectron spectrometers
基本信息
标准号:
GB/T 31470-2015
名称:
俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则
英文名称:
Standard practice for determination of the specimen area contributing to the detected signal in Auger electron spectrometers and some X-ray photoelectron spectrometers
状态:
现行
类型:
国家标准
性质:
推荐性
发布日期:
2015-05-15
实施日期:
2016-01-01
废止日期:
暂无
相关公告:
实施公告【关于批准发布《中国地震动参数区划图》等357项国家标准的公告】
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分类信息
ICS分类:
【
计量学和测量、物理现象(17)
电学、磁学、电和磁的测量(17.220)
电和磁量值的测量(17.220.20)
】
CCS分类:
【
仪器、仪表(N)
电工仪器仪表(N20/29)
综合测试系统(N26)
】
行标分类:
暂无
描述信息
前言:
本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。 本标准起草单位:信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司、天津中环领先材料技术有限公司。 本标准主要起草人:李雨辰、何秀坤、刘筠、刘兵、李翔。
适用范围:
本标准规定了俄歇电子能谱和部分类型的X射线光电子能谱检测信号对应样品区域的确定方法。本标准适用于俄歇电子能谱仪和具有以下条件的X射线光电子能谱:入射X光束激发的样品区域大于分析器可检测到的样品区域;光电子从样品到分析器入口的过程中经过自由空间;装配有辅助电子枪可以产生一束可变能量的电子束照射到样品上。
引用标准:
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T22461—2008 表面化学分析 词汇(ISO18115:2001,IDT) SJ/T10458—1993 俄歇电子能谱术和 X射线光电子能谱术的样品处理标准导则
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