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SJ/T 11552-2015 以布鲁斯特角入设P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量

基本信息
  • 标准号：
    SJ/T 11552-2015
  • 名称：
    以布鲁斯特角入设P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量
  • 英文名称：
    暂无
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    行业标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2015-10-10
  • 实施日期：
    2016-04-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【2015年第12号(总第192号)】
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分类信息
  • ICS分类：
    【 电气工程（29） 半导体材料（29.045） 】
  • CCS分类：
    【 冶金（H） 半金属与半导体材料（H80/84） 元素半导体材料（H82） 】
  • 行标分类：
    【 电子（SJ） 】
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了以布鲁斯特角入射P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量的方法。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
暂无
相关部门
  • 起草单位：
    工业和信息化部电子工业标准化研究院 信息产业专用材料质量监督检验中心 苏州晶瑞化学有限公司等
相关人员
暂无
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