GB/T 31987-2015

电子工业用气体 锗烷

Gas for electronic industry—Germane

现行

国家标准

推荐性

2015-09-11

2016-05-01

暂无

实施公告【关于批准发布《卫生陶瓷》等354项国家标准的公告】

暂无

本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本标准起草单位:上海华爱色谱分析技术有限公司、佛山市华特气体有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)、西南化工研究设计院有限公司。
本标准主要起草人:方华、裴友宏、郭秀丽、林宇巍、陈熔、周鹏云。

本标准规定了锗烷的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运和安全。
本标准适用于氯化锗还原、电解氧化锗的硫酸溶液、锗镁合金与盐酸反应等方法得到的锗烷产品。它用于化学试剂、制取高纯度锗、化学气相淀积、扩散、非晶硅、外延、离子注入等领域。
分子式：GeH4。
相对分子质量：76.662（按2011年国际相对原子质量计算）。

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB190 危险货物包装标志
GB/T3723 工业用化学产品采样安全通则
GB5099 钢质无缝气瓶
GB/T5832.3 气体中微量水分的测定 第3部分:光腔衰荡光谱法
GB7144 气瓶颜色标志
GB14193 液化气体气瓶充装规定
GB15258 化学品安全标签编写规定
GB16804 气瓶警示标签
GB/T26571 特种气体储存期规范
GB/T28726 气体分析 氦离子化气相色谱法
气瓶安全监察规程(2000版)
危险化学品安全管理条例(2011版)
特种设备安全监察条例(2009版)

GB 190 GB/T 3723 GB 5099 GB/T 5832.3 GB 7144 GB 14193 GB 15258 GB 16804 GB/T 26571 GB/T 28726 气瓶安全监察规程(2000版) 危险化学品安全管理条例(2011版) 特种设备安全监察条例(2009版)

中昊光明化工研究设计院有限公司 西南化工研究设计院有限公司 上海华爱色谱分析技术有限公司 国家化学工业气体产品质量监督检验中心（福建） 佛山市华特气体有限公司

全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

国家标准化管理委员会