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GB/T 31987-2015 电子工业用气体 锗烷
Gas for electronic industry—Germane
基本信息
分类信息
-
ICS分类:
【
化工技术(71)
化工产品(71.100)
工业气体(71.100.20)
】
-
CCS分类:
【
化工(G)
其他化工产品(G85/89)
工业气体与化学气体(G86)
】
-
行标分类:
暂无
描述信息
-
前言:
本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本标准起草单位:上海华爱色谱分析技术有限公司、佛山市华特气体有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)、西南化工研究设计院有限公司。
本标准主要起草人:方华、裴友宏、郭秀丽、林宇巍、陈熔、周鹏云。
-
适用范围:
本标准规定了锗烷的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运和安全。
本标准适用于氯化锗还原、电解氧化锗的硫酸溶液、锗镁合金与盐酸反应等方法得到的锗烷产品。它用于化学试剂、制取高纯度锗、化学气相淀积、扩散、非晶硅、外延、离子注入等领域。
分子式:GeH4。
相对分子质量:76.662(按2011年国际相对原子质量计算)。
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引用标准:
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
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气瓶安全监察规程(2000版)
危险化学品安全管理条例(2011版)
特种设备安全监察条例(2009版)
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