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SJ/T 31080-2016 光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法

基本信息
  • 标准号：
    SJ/T 31080-2016
  • 名称：
    光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法
  • 英文名称：
    暂无
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    行业标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2016-01-15
  • 实施日期：
    2016-06-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【2016年第7号(总第199号)】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    规定了光掩模制作用图形发生器的完好要求和检查评定方法
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
暂无
相关部门
  • 起草单位：
    中国电子科技集团公司第十三研究所 中国电子科技集团公司第五十四研究所 中国电子节能技术协会 中国电子节能技术协会
相关人员
暂无
关联标准