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GB/T 32386-2015 电子工业用气体 六氟化钨
Gases for electronic industry—Tungsten hexaflouride
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
化工技术（71）
化工产品（71.100）
工业气体（71.100.20）
】
-
CCS分类：
【
化工（G）
其他化工产品（G85/89）
工业气体与化学气体（G86）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
-
前言：
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本标准起草单位:中国船舶重工集团公司第七一八研究所、厦门钨业股份有限公司、西南化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海仪盟电子科技有限公司。
本标准主要起草人:郑秋艳、江海风、王占卫、方兰兰、林竹光、王志信、方华、杨任、周鹏云。
-
适用范围：
本标准规定了六氟化钨的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。本标准适用于化学合成法制取并经精制纯化的六氟化钨。该产品主要用于电子工业中金属钨化学气相沉积工艺、钨材料的制备等。分子式：WF6。分子量：297.830 419 2（按2009年国际相对原子质量计算）。
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引用标准：
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
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TJ36-79 工业企业设计卫生标准
气瓶安全监察规程(2000版)
危险化学品安全管理条例(2002版)
特种设备安全监察条例(2009版)
相关标准
相关部门
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起草单位：
西南化工研究设计院有限公司
厦门钨业股份有限公司
中国船舶重工集团公司第七一八研究所
上海华爱色谱分析技术有限公司
上海仪盟电子科技有限公司
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归口单位：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC
203)
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主管部门：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC
203)
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