GB/T 20726-2015

微束分析 电子探针显微分析X射线能谱仪主要性能参数及核查方法

Microbeam analysis—Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy dispersive X-ray spectrometers for use in electron probe microanalysis

现行

国家标准

推荐性

2015-10-09

2016-09-01

暂无

实施公告【关于批准发布《石英玻璃化学成分分析方法》等168项国家标准的公告】

暂无

本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准代替GB/T20726—2006《半导体探测器X射线能谱仪通则》。
本标准与GB/T20726—2006相比,主要变化如下:
———中文名称修改为:微束分析 电子探针显微分析X射线能谱仪主要性能参数及核查方法;
———增加了部分术语和定义(见3.2、3.2.1、3.2.2、3.3~3.5、3.12、3.13);
———修改了部分术语和定义(见3.8~3.11,2006年版2.4~2.7);
———删除了仪器本底的术语和定义(见2006年版2.8);
———增加了第五章:“其他性能参数的核查”(见第5章);
———增加有助于理解本标准的必要的参考文献(见参考文献)。
与本标准中规范性引用的国际文件有一致性对应关系的我国文件如下:
———GB/T21636—2008 微束分析 电子探针显微分析(EPMA) 术语(ISO23833:2006,IDT)。
本标准由全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC38)提出并归口。
本标准主要起草单位:中国科学院地质与地球物理研究所。
本标准主要起草人:曾荣树、徐文东、毛骞、马玉光。
本标准于2007年8月1日首次发布,本次为第一次修订。

本标准规定了表征以半导体探测器、前置放大器和信号处理系统为基本构成的X射线能谱仪（EDS）特性最重要的性能参数。本标准仅适用于基于固态电离原理的半导体探测器能谱仪。本标准规定了与扫描电镜（SEM）或电子探针（EPMA）联用的EDS性能参数的最低要求以及核查方法。至于实际分析过程，在ISO 22309［2］和 ASTM E1508［3］中已有规范，不在本标准范围之内。

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
ISO23833 微束分析 电子探针显微分析(EPMA) 术语

GB/T 20726-2006

ISO 23833

ISO 15632:2012 《微束分析　电子探针显微分析(EPMA)　术语》 （等同采用 IDT）

全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)

全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)

中国科学院地质与地球物理研究所