收藏到云盘
纠错反馈
GB/T 32282-2015 氮化镓单晶位错密度的测量 阴极荧光显微镜法
Test method for disoclation density of GaN single crystal—Cathodoluminescence spectroscopy
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
冶金（77）
金属材料试验（77.040）
】
-
CCS分类：
【
冶金（H）
金属理化性能试验方法（H20/29）
金属物理性能试验方法（H21）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
-
前言：
本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。
本标准起草单位:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司。
本标准主要起草人:曾雄辉、张燚、董晓鸣、牛牧童、刘争晖、邱永鑫、王建峰、徐科。
-
适用范围：
本标准规定了用阴极荧光显微镜法测试氮化镓单晶位错密度的方法。
本标准适用于位错密度在1×103个/cm2～5×108个/cm2之间的氮化镓单晶中位错密度的测试。
-
引用标准：
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所用的修改单)适用于本文件。
GB/T1554 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法
GB/T14264 半导体材料术语
GB/T27788 微束分析 扫描电镜 图像放大倍率校准导则
相关标准
相关部门
相关人员
关联标准
-
GB/T 1557-2006
硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
-
YB/T 5321-2006
膨胀合金气密性试验方法
-
GB/T 5162-2021
金属粉末 振实密度的测定
-
YS/T 581.3-2006
氟化铝化学分析方法和物理性能测定方法 第3部分：蒸馏——硝酸钍容量法测定氟含量
-
GB/T 1425-2021
贵金属及其合金熔化温度范围的测定 热分析试验方法
-
YS/T 438.1-2013
砂状氧化铝物理性能测定方法 第1部分：筛分法测定粒度分布
-
GB/T 19346.2-2017
非晶纳米晶合金测试方法 第2部分：带材叠片系数
-
GB/T 6885-1986
硬质合金 混合粉取样和试验方法
-
GB/T 8359-1987
高速钢中碳化物相的定量分析 X射线衍射仪法
-
GB/T 8753.1-2005
铝及铝合金阳极氧化 氧化膜封孔质量的评定方法 第1部分:无硝酸预浸的磷铬酸法
-
YS/T 24-2016
外延钉缺陷的检验方法
-
GB/T 3170.3-1982
铝粉粒度的测定 乙醇筛洗法
-
GB/T 12967.1-1991
铝及铝合金阳极氧化 用喷磨试验仪测定阳极氧化膜的平均耐磨性
-
GB/T 8763-1988
非蒸散型吸气材料及制品吸气性能测试方法
-
GB/T 6617-1995
硅片电阻率测定 扩展电阻探针法
-
GB/T 26068-2018
硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法
-
GB/T 5314-1985
粉末冶金用粉末的取样方法
-
GB/T 1550-1997
非本征半导体材料导电类型测试方法
-
DB53/T 748-2016
云南省工业硅粉粒度的测定 自动振筛法
-
YS/T 617.4-2007
铝、镁及其合金粉理化性能测定方法 第4部分: 镁粉中盐酸不溶物量的测定 重量法
打开设置，点击
执行注册
