收藏到云盘
纠错反馈
GB/T 32282-2015 氮化镓单晶位错密度的测量 阴极荧光显微镜法
Test method for disoclation density of GaN single crystal—Cathodoluminescence spectroscopy
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
冶金（77）
金属材料试验（77.040）
】
-
CCS分类：
【
冶金（H）
金属理化性能试验方法（H20/29）
金属物理性能试验方法（H21）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
-
前言：
本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。
本标准起草单位:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司。
本标准主要起草人:曾雄辉、张燚、董晓鸣、牛牧童、刘争晖、邱永鑫、王建峰、徐科。
-
适用范围：
本标准规定了用阴极荧光显微镜法测试氮化镓单晶位错密度的方法。
本标准适用于位错密度在1×103个/cm2～5×108个/cm2之间的氮化镓单晶中位错密度的测试。
-
引用标准：
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所用的修改单)适用于本文件。
GB/T1554 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法
GB/T14264 半导体材料术语
GB/T27788 微束分析 扫描电镜 图像放大倍率校准导则
相关标准
相关部门
相关人员
关联标准
-
YS/T 581.10-2006
氟化铝化学分析方法和物理性能测定方法 第10部分：X射线荧光光谱分析法测定硫含量
-
GB/T 6147-2005
精密电阻合金热电动势率 测试方法
-
GB/T 32791-2016
铜及铜合金导电率涡流测试方法
-
GB/T 4104-2017
直接法氧化锌白度检验方法
-
YS/T 455.7-2006
铝箔试验方法 第7部分:铝箔厚度的测定 称量法
-
GB/T 19346.3-2021
非晶纳米晶合金测试方法 第3部分：铁基非晶单片试样交流磁性能
-
GB/T 3493-1983
贵金属及其合金细丝直径测量方法 (称重法)
-
GB/T 3172-1982
铝粉附着率的测定 钢片试验法
-
GB/T 37211.2-2018
金属锗化学分析方法 第2部分：铝、铁、铜、镍、铅、钙、镁、钴、铟、锌含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
-
GB/T 8364-2003
热双金属比弯曲试验方法
-
SJ/T 11631-2016
太阳能电池用硅片外观缺陷测试方法
-
GB/T 5163-1985
可渗性烧结金属材料 密度的测定
-
GB/T 37561-2019
难熔金属及其化合物粉末在粒度测定之前的分散处理规则
-
YS/T 438.1-2001
砂状氧化铝物理性能测定方法 筛分法测定粒度分布
-
YS/T 581.1-2006
氟化铝化学分析方法和物理性能测定方法 第1部分：重量法测定湿存水含量
-
GB/T 4060-1983
硅多晶真空区熔基硼检验方法
-
GB/T 16595-1996
晶片通用网格规范
-
GB/T 15078-1994
贵金属电触点材料接触电阻的测量方法
-
SJ/T 11628-2016
太阳能电池用硅片尺寸及电学表征在线测试方法
-
GB/T 8362-1987
钢中残余奥氏体定量测定 X射线衍射仪法
打开设置，点击
执行注册
