收藏到云盘
纠错反馈
GB/T 32188-2015 氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法
The method for full width at half maximum of double crystal X-ray rocking curve of GaN single crystal substrate
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
冶金（77）
金属材料试验（77.040）
】
-
CCS分类：
【
冶金（H）
金属理化性能试验方法（H20/29）
金属物理性能试验方法（H21）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
-
前言：
本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。
本标准起草单位:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司、中国科学院物理研究所、北京天科合达蓝光半导体有限公司、丹东新东方晶体仪器有限公司。
本标准主要起 草 人:邱 永 鑫、任 国 强、刘 争 晖、曾 雄 辉、王 建 峰、陈 小 龙、王 文 军、郑 红 军、徐 科、赵松彬。
-
适用范围：
本标准规定了利用双晶X射线衍射仪测试氮化镓单晶衬底片摇摆曲线半高宽的方法。 本标准适用于化学气相沉积及其他方法生长制备的氮化镓单晶衬底片。
-
引用标准：
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T14264 半导体材料术语
相关标准
相关部门
相关人员
关联标准
-
GB/T 11112-1989
有色金属大气腐蚀试验方法
-
YS/T 784-2012
铝电解槽技术参数测量方法
-
YS/T 535.7-2009
氟化钠化学分析方法 第7部分：酸度的测定 中和法
-
GB/T 37207-2018
镍钴锰酸锂电化学性能测试 放电平台容量比率及循环寿命测试方法
-
YS/T 455.3-2003
铝箔试验方法 第3部分：铝箔粘附性试验方法
-
GB/T 18036-2000
铂铑热电偶细丝的热电动势测量方法
-
GB/T 3658-2008
软磁材料交流磁性能环形试样的测量方法
-
GB/T 30655-2014
氮化物LED外延片内量子效率测试方法
-
YS/T 617.2-2007
铝、镁及其合金粉理化性能测定方法 第2部分: 铝镁合金粉中铝含量的测定 氟化物置换络合滴定法
-
YS/T 629.5-2007
高纯氧化铝化学分析方法 氧化钙、氧化镁含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法
-
YS/T 679-2018
非本征半导体中少数载流子扩散长度的测试 表面光电压法
-
GB/T 32282-2015
氮化镓单晶位错密度的测量 阴极荧光显微镜法
-
GB/T 6885-1986
硬质合金 混合粉取样和试验方法
-
GB/T 3217-1992
永磁(硬磁)材料磁性试验方法
-
YS/T 617.3-2007
铝、镁及其合金粉理化性能测定方法 第3部分: 水分的测定 干燥失重法
-
YS/T 23-2016
硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法
-
GB/T 3655-2008
用爱泼斯坦方圈测量电工钢片（带）磁性能的方法
-
YS/T 581.4-2006
氟化铝化学分析方法和物理性能测定方法 第4部分：EDTA容量法测定铝含量
-
GB/T 1557-1989
硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
-
GB/T 1557-2018
硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
打开设置，点击
执行注册
