收藏到云盘
纠错反馈
GB/T 32188-2015 氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法
The method for full width at half maximum of double crystal X-ray rocking curve of GaN single crystal substrate
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
冶金（77）
金属材料试验（77.040）
】
-
CCS分类：
【
冶金（H）
金属理化性能试验方法（H20/29）
金属物理性能试验方法（H21）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
-
前言：
本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。
本标准起草单位:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司、中国科学院物理研究所、北京天科合达蓝光半导体有限公司、丹东新东方晶体仪器有限公司。
本标准主要起 草 人:邱 永 鑫、任 国 强、刘 争 晖、曾 雄 辉、王 建 峰、陈 小 龙、王 文 军、郑 红 军、徐 科、赵松彬。
-
适用范围：
本标准规定了利用双晶X射线衍射仪测试氮化镓单晶衬底片摇摆曲线半高宽的方法。 本标准适用于化学气相沉积及其他方法生长制备的氮化镓单晶衬底片。
-
引用标准：
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T14264 半导体材料术语
相关标准
相关部门
相关人员
关联标准
-
GB/T 2523-2022
冷轧金属薄板和薄带表面粗糙度、峰值数和波纹度测量方法
-
GB/T 19346.1-2017
非晶纳米晶合金测试方法 第1部分：环形试样交流磁性能
-
GB/T 3170.1-1982
铝粉粒度的测定 机械振动筛分法
-
GB/T 41079.1-2021
液态金属物理性能测定方法 第1部分：密度的测定
-
YS/T 14-2015
异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法
-
GB/T 5027-1999
金属薄板和薄带塑性应变比(r值)试验方法
-
GB/T 21546-2008
铌钛复合超导体的直流临界电流测量
-
GB/T 40380.1-2021
金属粉末 高温时松装密度和流速的测定 第1部分：高温时松装密度的测定
-
GB/T 5252-2006
锗单晶位错腐蚀坑密度测量方法
-
GB/T 3493-1983
贵金属及其合金细丝直径测量方法 (称重法)
-
YS/T 581.12-2006
氟化铝化学分析方法和物理性能测定方法 第12部分：粒度分布的测定——筛分法
-
YS/T 23-2016
硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法
-
GB/T 4195-1984
钨、钼粉末粒度分布测试方法(沉降天平法)
-
GB/T 36705-2018
氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法
-
YS/T 618-2007
填料用氢氧化铝吸油量的测定方法
-
GB/T 19289-2003
电工钢片(带)的密度、电阻率和叠装系数的测量方法
-
GB/T 6884-1986
硬质合金制品 取样和试验方法
-
YB/T 5337-2006
金属点阵常数的测定方法 X射线衍射仪法
-
GB/T 3656-2008
软磁材料矫顽力的抛移测量方法
-
GB/T 32791-2016
铜及铜合金导电率涡流测试方法
打开设置，点击
执行注册
