收藏到云盘
纠错反馈
GB/T 32188-2015 氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法
The method for full width at half maximum of double crystal X-ray rocking curve of GaN single crystal substrate
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
冶金（77）
金属材料试验（77.040）
】
-
CCS分类：
【
冶金（H）
金属理化性能试验方法（H20/29）
金属物理性能试验方法（H21）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
-
前言：
本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。
本标准起草单位:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司、中国科学院物理研究所、北京天科合达蓝光半导体有限公司、丹东新东方晶体仪器有限公司。
本标准主要起 草 人:邱 永 鑫、任 国 强、刘 争 晖、曾 雄 辉、王 建 峰、陈 小 龙、王 文 军、郑 红 军、徐 科、赵松彬。
-
适用范围：
本标准规定了利用双晶X射线衍射仪测试氮化镓单晶衬底片摇摆曲线半高宽的方法。 本标准适用于化学气相沉积及其他方法生长制备的氮化镓单晶衬底片。
-
引用标准：
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T14264 半导体材料术语
相关标准
相关部门
相关人员
关联标准
-
GB/T 13220-1991
细粉末粒度分布的测定 声波筛分法
-
YB/T 4292-2012
电工钢带（片）几何特性测试方法
-
YB/T 4618-2017
耐指纹镀锌钢板表面电阻试验方法
-
GB/T 4339-1999
金属材料热膨胀特征参数的测定
-
GB/T 19921-2018
硅抛光片表面颗粒测试方法
-
YB/T 130-1997
钢的等温转变曲线图的测定
-
YS/T 273.1-2006
冰晶石化学分析方法和物理性能测定方法 第1部分：重量法测定湿存水含量
-
GB/T 3656-2008
软磁材料矫顽力的抛移测量方法
-
GB/T 38786-2020
镁及镁合金铸锭纯净度检验方法
-
GB/T 4108-2004
镁粉和铝镁合金粉粒度组成的测定 干筛分法
-
GB/Z 26082-2010
纳米材料直流磁化率（磁矩）测量方法
-
GB/T 30655-2014
氮化物LED外延片内量子效率测试方法
-
YS/T 1161.1-2016
拟薄水铝石分析方法 第1部分：胶溶指数的测定 EDTA容量法
-
YS/T 617.8-2007
铝、镁及其合金粉理化性能测定方法 第8部分: 松装密度的测定
-
YS/T 335-1994
电真空器件用无氧铜含氧量金相检验法
-
GB/T 4339-2008
金属材料热膨胀特征参数的测定
-
GB/T 8360-1987
金属点阵常数的测定方法 X射线衍射仪法
-
GB/T 30860-2014
太阳能电池用硅片表面粗糙度及切割线痕测试方法
-
YS/T 617.3-2007
铝、镁及其合金粉理化性能测定方法 第3部分: 水分的测定 干燥失重法
-
GB/T 31527-2015
力学性能测量 NbTi/Cu复合超导线室温拉伸试验方法
打开设置，点击
执行注册
