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YS/T 26-2016 硅片边缘轮廓检验方法
Test methods for edge contour of silicon wafers
基本信息
分类信息
-
ICS分类:
【
冶金(77)
金属材料试验(77.040)
】
-
CCS分类:
【
冶金(H)
金属理化性能试验方法(H20/29)
金属物理性能试验方法(H21)
】
-
行标分类:
描述信息
相关标准
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代替标准:
YS/T 26-1992
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引用标准:
GB/T 14264
相关部门
相关人员
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