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YS/T 1141-2016 钛蒸发料

Evaporated titanium material
基本信息
  • 标准号：
    YS/T 1141-2016
  • 名称：
    钛蒸发料
  • 英文名称：
    Evaporated titanium material
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    行业标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2016-07-11
  • 实施日期：
    2017-01-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【2016年第11号(总第203号)】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了钛蒸发料的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与合同（或订货单）内容。
    本标准适用于半导体行业用的钛蒸发料。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB/T 2828.1 GB/T 4698.7 GB/T 4698.14 GB/T 4698.15 YS/T 891 YS/T 892
相关部门
暂无
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