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YS/T 1124-2016 磁性溅射靶材透磁率测试方法

Testing method on pass through flux of magnetic sputtering target
基本信息
  • 标准号：
    YS/T 1124-2016
  • 名称：
    磁性溅射靶材透磁率测试方法
  • 英文名称：
    Testing method on pass through flux of magnetic sputtering target
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    行业标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2016-07-11
  • 实施日期：
    2017-01-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【2016年第11号(总第203号)】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了磁控溅射用磁性靶材透磁率的术语和定义、检测设备、检验过程及结果计算等内容。
    本标准适用于溅射薄膜用各类磁性靶材透磁率的检验。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
暂无
相关部门
暂无
相关人员
暂无
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