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YS/T 1164-2016 硅材料用高纯石英制品中杂质含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法

Test method for the content of impurities in high purity quartz used for silicon material—Inductively coupled plasma atomic emission spectrometry method
基本信息
  • 标准号：
    YS/T 1164-2016
  • 名称：
    硅材料用高纯石英制品中杂质含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法
  • 英文名称：
    Test method for the content of impurities in high purity quartz used for silicon material—Inductively coupled plasma atomic emission spectrometry method
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    行业标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2016-07-11
  • 实施日期：
    2017-01-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【2016年第11号(总第203号)】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了多晶硅用高纯石英制品中铝、钙、钾、钠、铜、镁、磷、砷、锌、镍、硼含量的测定方法。
    本标准适用于多晶硅用高纯石英制品中铝、钙、钾、钠、铜、镁、磷、砷、锌、镍、硼含量的测定，测定范围见表1。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB/T 6682-2008 GB/T 8170
相关部门
暂无
相关人员
暂无
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