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GB/T 32495-2016 表面化学分析 二次离子质谱 硅中砷的深度剖析方法
Surface chemical analysis—Secondary-ion mass spectrometry—Method for depth profiling of arsenic in silicon
基本信息
分类信息
-
ICS分类:
【
化工技术(71)
分析化学(71.040)
化学分析(71.040.40)
】
-
CCS分类:
【
化工(G)
化工综合(G00/09)
基础标准与通用方法(G04)
】
-
行标分类:
暂无
描述信息
相关标准
相关部门
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起草单位:
中国电子科技集团公司第四十六研究所
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主管部门:
国家标准化管理委员会
-
归口单位:
38)
全国微束标准化技术委员会(SAC/TC
相关人员
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