• 当前位置：
    首页 规范标准 GB/T 32495-2016 表面化学分析 二次离子质谱 硅中砷的深度剖析方法
收藏到云盘
纠错反馈

GB/T 32495-2016 表面化学分析 二次离子质谱 硅中砷的深度剖析方法

Surface chemical analysis—Secondary-ion mass spectrometry—Method for depth profiling of arsenic in silicon
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 32495-2016
  • 名称：
    表面化学分析 二次离子质谱 硅中砷的深度剖析方法
  • 英文名称：
    Surface chemical analysis—Secondary-ion mass spectrometry—Method for depth profiling of arsenic in silicon
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2016-02-24
  • 实施日期：
    2017-01-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【关于批准发布《紧固件 外螺纹零件末端》等279项国家】
    • 阅读或下载 使用APP、PC客户端等功能更强大
    • 网页在线阅读 体验阅读、搜索等基本功能
    • 用户分享资源 来自网友们上传分享的文件
    • 纸书购买 平台官方及网友推荐
分类信息
  • ICS分类：
    【 化工技术（71） 分析化学（71.040） 化学分析（71.040.40） 】
  • CCS分类：
    【 化工（G） 化工综合（G00/09） 基础标准与通用方法（G04） 】
  • 行标分类：
    暂无
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准详细规定了用扇形磁场或四极杆式二次离子质谱仪对硅中砷进行深度剖析的方法，以及用触针式轮廓仪或光学干涉仪深度定标的方法。本标准适用于砷原子浓度范围从1×1016 atoms/cm3～2.5×1021 atoms/cm3的单晶硅、多晶硅、非晶硅样品，坑深在50 nm及以上。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB/T 20176-2006 GB/T 25186-2010 ISO 18115-1
  • 采用标准：
    ISO 12406:2010 表面化学分析 二次离子质谱 硅中砷的深度剖析方法 （等同采用 IDT）
相关部门
  • 起草单位：
    中国电子科技集团公司第四十六研究所
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
  • 归口单位：
    38) 全国微束标准化技术委员会(SAC/TC
相关人员
暂无
关联标准
  • GB/T 18735-2014 微束分析 分析电镜（ＡＥＭ／ＥＤＳ）纳米薄标样通用规范
  • GB/T 5832.1-2016 气体分析 微量水分的测定 第1部分：电解法
  • DB44/T 1708-2015 广东省木制文具中含氯苯酚的测定 气相色谱-质谱法
  • HG/T 3506-1999 表面活性剂 试验用水或水溶液电导率的测定
  • DB13/T 2764-2018 河北省肥皂中氯化物含量的测定 自动电位滴定法
  • GB/T 14415-2007 工业循环冷却水和锅炉用水中固体物质的测定
  • SN/T 1828.14-2006 进出口危险货物分类试验方法 第14部分：锂电池组
  • GB/T 30705-2014 微束分析 电子探针显微分析 波谱法实验参数测定导则
  • HG/T 2752-1996 未增塑乙酸纤维素游离酸度的测定
  • GB/T 22626-2008 水处理剂阻垢性能的测定　磷酸钙沉积法
  • GB/T 26489-2011 纳米材料超双亲性能检测方法
  • GB/T 22597-2014 再生水中化学需氧量的测定 重铬酸钾法
  • GB/T 35158-2017 俄歇电子能谱仪检定方法
  • GB/T 22594-2018 水处理剂 密度测定方法通则
  • GB/T 12684-2018 工业硼化物 分析方法
  • GB/T 14636-2021 工业循环冷却水及水垢中钙、镁的测定　原子吸收光谱法
  • DB13/T 1230-2010 河北省有机化工产品色度测定方法
  • HG/T 5230-2017 硫酸中硒的测定方法
  • DB13/T 1229-2010 河北省有机化工产品中硫酸盐含量测定方法
  • GB/T 38261-2019 纳米技术 生物样品中银含量测量 电感耦合等离子体质谱法
用户分享资源

GB/T 32495-2016 表面化学分析 二次离子质谱 硅中砷的深度剖析...

Surface chemical analysis—Secondary-ion ... 上传文件 注:本列表内文件主要来源于网友们的分享上传。如您发现有不正确不合适的内容，请及时联系客服
纠错反馈
GB/T 32495-2016 表面化学分析 二次离子质谱 硅中砷的深度剖析...
提交反馈
分类列表
确定
上传文件
完全匿名 前台匿名 显示用户名 点击选择文件
{{uploadFile.name}} {{uploadFile.sizeStr}}
目前支持上传小于100MB的PDF、OCF、OCS格式文件
注:您上传文件即代表同意平台可以公开给所有用户下载。平台会根据您的选择及实际情况，为您发放相应的直接或分成奖励。平台也可以根据实际情况需要，对您上传到服务器的文件进行调整隐藏删除等，而无需通知到您。
联系客服

纸书购买链接招商中，联系客服入驻

客服QQ： 2449276725 1455033258

1098903864 1969329120

客服电话：0379-80883238

电子邮箱：ocsyun@126.com