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GB/T 32281-2015 太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定 二次离子质谱法

Test method for measuring oxygen, carbon, boron and phosphorus in solar silicon wafers and feedstock by secondary ion mass spectrometry
基本信息
  • 标准号:
    GB/T 32281-2015
  • 名称:
    太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定 二次离子质谱法
  • 英文名称:
    Test method for measuring oxygen, carbon, boron and phosphorus in solar silicon wafers and feedstock by secondary ion mass spectrometry
  • 状态:
    现行
  • 类型:
    国家标准
  • 性质:
    推荐性
  • 发布日期:
    2015-12-10
  • 实施日期:
    2017-01-01
  • 废止日期:
    暂无
  • 相关公告:
    实施公告【关于批准发布《内六角平圆头螺钉》等296项国家标准的公告】
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分类信息
  • ICS分类:
    冶金(77) 金属材料试验(77.040) 金属材料化学分析(77.040.30)
  • CCS分类:
    冶金(H) 金属化学分析方法(H10/19) 半金属及半导体材料分析方法(H17)
  • 行标分类:
    暂无
描述信息
  • 前言:
    暂无
  • 适用范围:
    暂无
  • 引用标准:
    暂无
相关标准
  • 引用标准:
    GB/T 2828.1 GB/T 14264 ASTM E673
相关部门
  • 归口单位:
    2) 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) 203/SC 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC
  • 主管部门:
    国家标准化管理委员会
  • 起草单位:
    新特能源股份有限公司 北京合能阳光新能源技术有限公司 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 洛阳鸿泰半导体有限公司 中铝宁夏能源集团有限公司 宁夏银星多晶硅有限责任公司
相关人员
暂无
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