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GB/T 24578-2015 硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法
Test method for measuring surface metal contamination on silicon wafers by total reflection X-Ray fluorescence spectroscopy
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
冶金（77）
金属材料试验（77.040）
】
-
CCS分类：
【
冶金（H）
金属化学分析方法（H10/19）
半金属及半导体材料分析方法（H17）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
相关标准
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代替标准：
GB/T 24578-2009
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引用标准：
GB/T 14264
GB 50073-2013
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相关人员
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