收藏到云盘
纠错反馈
GB/T 24578-2015 硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法
Test method for measuring surface metal contamination on silicon wafers by total reflection X-Ray fluorescence spectroscopy
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
冶金（77）
金属材料试验（77.040）
】
-
CCS分类：
【
冶金（H）
金属化学分析方法（H10/19）
半金属及半导体材料分析方法（H17）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
相关标准
-
代替标准：
GB/T 24578-2009
-
引用标准：
GB/T 14264
GB 50073-2013
相关部门
相关人员
关联标准
-
SN/T 2047-2008
进口铜精矿中杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法
-
GB/T 351-1995
金属材料电阻系数测量方法
-
GB/T 4373.3-1984
砷化学分析方法 硫酸钡重量法测定硫量
-
YS/T 227.4-1994
碲中铁量的测定(邻菲啰啉吸光光度法)
-
YB/T 130-1997
钢的等温转变曲线图的测定
-
YS/T 226.7-2009
硒化学分析方法 第7部分：镁量的测定 火焰原子吸收光谱法
-
SN/T 1650-2005
金属硅中铁、铝、钙、镁、锰、锌、铜、钛、铬、镍、钒含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法
-
YB/T 5315-2006
硅钙合金化学分析方法 磷钼蓝分光光度法测定磷量
-
YB/T 169-2000
高碳钢盘条索氏体含量金相检测方法
-
DB53/T 728-2015
云南省锌物料中铟含量的测定 原子吸收分光光度法
-
YS/T 1290-2018
多晶硅生产尾气中硅烷含量的测定 气相色谱法
-
GB/T 5167-1985
烧结金属材料和硬质合金电阻率的测定
-
GB/T 4373.1-1984
砷化学分析方法 溴酸钾容量法测定砷量
-
SN/T 2091-2008
进出口锑锭中铅、铜、铁、铋含量的测定 原子吸收光谱法
-
GB/T 3849-1983
硬质合金洛氏硬度 (A标尺) 试验方法
-
GB/T 4700.5-1998
硅钙合金化学分析方法 红外线吸收法测定碳量
-
YS/T 37.1-2018
高纯二氧化锗化学分析方法 硝酸银比浊法测定氯量
-
GB/T 4060-2007
硅多晶真空区熔基硼检验方法
-
GB/T 14849.1-2020
工业硅化学分析方法 第1部分：铁含量的测定
-
GB/T 40279-2021
硅片表面薄膜厚度的测试 光学反射法
打开设置，点击
执行注册
