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GB/T 32817-2016 半导体器件 微机电器件 MEMS总规范

Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Generic specification for MEMS
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 32817-2016
  • 名称：
    半导体器件 微机电器件 MEMS总规范
  • 英文名称：
    Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Generic specification for MEMS
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2016-08-29
  • 实施日期：
    2017-03-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【关于批准发布《几何光学术语、符号》等319项国家标准的公告】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准描述了用半导体制造的微机电系统（MEMS）的总规范，规定了用于IECQCECC体系质量评定的一般规程，给出了电、光、机械和环境特性的描述和测试的总则。本标准适用于各类MEMS器件［如传感器、射频MEMS，但不包括光MEMS、生物MEMS、微全分析系统（MicroTAS）和微能源MEMS］。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB/T 2423 GB/T 2424 GB/T 2828.1 GB 3100 GB/T 4728(所有部分) GB/T 4937(所有部分) GB/T 26111 IEC 60027(所有部分) IEC 60747-1:2006 IEC 61193-2 IECQ 03-3:2013
  • 采用标准：
    IEC 62047-4:2008 半导体器件 微机电装置 第4部分:MEMS总规范 （修改采用 MOD）
相关部门
  • 起草单位：
    大连理工大学 中机生产力促进中心 中北大学 中国电子科技集团公司第十三研究所 南京理工大学
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
  • 归口单位：
    全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
相关人员
暂无
关联标准