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GB/T 32816-2016 硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范
Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the combination of the deep etching and bonding process
基本信息
-
标准号：
GB/T 32816-2016
-
名称：
硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范
-
英文名称：
Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the combination of the deep etching and bonding process
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状态：
现行
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类型：
国家标准
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性质：
推荐性
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发布日期：
2016-08-29
-
实施日期：
2017-03-01
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废止日期：
暂无
-
相关公告：
实施公告【关于批准发布《几何光学术语、符号》等319项国家标准的公告】
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微电路（L55/59）
微电路综合（L55）
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