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GB/T 32814-2016 硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范
Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the SOI wafer based MEMS process
基本信息
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标准号：
GB/T 32814-2016
-
名称：
硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范
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英文名称：
Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the SOI wafer based MEMS process
-
状态：
现行
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类型：
国家标准
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性质：
推荐性
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发布日期：
2016-08-29
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实施日期：
2017-03-01
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废止日期：
暂无
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相关公告：
实施公告【关于批准发布《几何光学术语、符号》等319项国家标准的公告】
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分类信息
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ICS分类：
【
电子学（31）
集成电路、微电子学（31.200）
】
-
CCS分类：
【
电子元器件与信息技术（L）
微电路（L55/59）
微电路综合（L55）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
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引用标准：
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