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GB/T 32814-2016 硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范

Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the SOI wafer based MEMS process
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 32814-2016
  • 名称：
    硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范
  • 英文名称：
    Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the SOI wafer based MEMS process
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2016-08-29
  • 实施日期：
    2017-03-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【关于批准发布《几何光学术语、符号》等319项国家标准的公告】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了采用SOI硅片进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。
    本标准适用于硅基MEMS制造技术中基于SOI硅片的MEMS器件的加工和质量检验。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB/T 26111 GB 50073
相关部门
  • 起草单位：
    西北工业大学 中机生产力促进中心
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
  • 归口单位：
    全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
相关人员
暂无
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