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GB/T 32999-2016 表面化学分析 深度剖析 用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率

Surface chemical analysis—Depth profiling—Measurement of sputtering rate: mesh-replica method using a mechanical stylus profilometer
基本信息
  • 标准号:
    GB/T 32999-2016
  • 名称:
    表面化学分析 深度剖析 用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率
  • 英文名称:
    Surface chemical analysis—Depth profiling—Measurement of sputtering rate: mesh-replica method using a mechanical stylus profilometer
  • 状态:
    现行
  • 类型:
    国家标准
  • 性质:
    推荐性
  • 发布日期:
    2016-10-13
  • 实施日期:
    2017-09-01
  • 废止日期:
    暂无
  • 相关公告:
    实施公告【关于批准发布《高标准农田建设评价规范》等315项国家标准的公告】
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分类信息
  • ICS分类:
    化工技术(71) 分析化学(71.040) 化学分析(71.040.40)
  • CCS分类:
    化工(G) 化工综合(G00/09) 基础标准与通用方法(G04)
  • 行标分类:
    暂无
描述信息
  • 前言:
    暂无
  • 适用范围:
    暂无
  • 引用标准:
    暂无
相关标准
  • 采用标准:
    ISO/TR 22335:2007 表面化学分析 深度剖析 用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率 (等同采用 IDT)
相关部门
  • 主管部门:
    国家标准化管理委员会
  • 归口单位:
    38) 全国微束标准化技术委员会(SAC/TC
  • 起草单位:
    清华大学分析中心 北京师范大学分析测试中心
相关人员
暂无
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