收藏到云盘
纠错反馈

GB/T 32999-2016 表面化学分析 深度剖析 用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率

Surface chemical analysis—Depth profiling—Measurement of sputtering rate: mesh-replica method using a mechanical stylus profilometer
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 32999-2016
  • 名称：
    表面化学分析 深度剖析 用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率
  • 英文名称：
    Surface chemical analysis—Depth profiling—Measurement of sputtering rate: mesh-replica method using a mechanical stylus profilometer
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2016-10-13
  • 实施日期：
    2017-09-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【关于批准发布《高标准农田建设评价规范》等315项国家标准的公告】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    暂无
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 采用标准：
    ISO/TR 22335:2007 表面化学分析 深度剖析 用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率 （等同采用 IDT）
相关部门
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
  • 归口单位：
    38) 全国微束标准化技术委员会(SAC/TC
  • 起草单位：
    清华大学分析中心 北京师范大学分析测试中心
相关人员
暂无
关联标准