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GB/T 32999-2016 表面化学分析 深度剖析 用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率
Surface chemical analysis—Depth profiling—Measurement of sputtering rate: mesh-replica method using a mechanical stylus profilometer
基本信息
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标准号：
GB/T 32999-2016
-
名称：
表面化学分析 深度剖析 用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率
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英文名称：
Surface chemical analysis—Depth profiling—Measurement of sputtering rate: mesh-replica method using a mechanical stylus profilometer
-
状态：
现行
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类型：
国家标准
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性质：
推荐性
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发布日期：
2016-10-13
-
实施日期：
2017-09-01
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废止日期：
暂无
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相关公告：
实施公告【关于批准发布《高标准农田建设评价规范》等315项国家标准的公告】
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分类信息
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ICS分类：
【
化工技术（71）
分析化学（71.040）
化学分析（71.040.40）
】
-
CCS分类：
【
化工（G）
化工综合（G00/09）
基础标准与通用方法（G04）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
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相关部门
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主管部门：
国家标准化管理委员会
-
归口单位：
38)
全国微束标准化技术委员会(SAC/TC
-
起草单位：
清华大学分析中心
北京师范大学分析测试中心
相关人员
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