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GB/T 32996-2016 表面化学分析 辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜

Surface chemical analysis—Analysis of metal oxide films by glow-discharge optical emission spectrometry
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 32996-2016
  • 名称：
    表面化学分析 辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜
  • 英文名称：
    Surface chemical analysis—Analysis of metal oxide films by glow-discharge optical emission spectrometry
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2016-10-13
  • 实施日期：
    2017-09-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【关于批准发布《高标准农田建设评价规范》等315项国家标准的公告】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了利用辉光放电发射光谱测定金属氧化物膜厚度、单位面积质量和金属氧化物膜化学组成的方法。本方法适用于测定金属上厚度为1 nm～10 000 nm的氧化物膜，氧化物的金属元素包括铁、铬、镍、铜、钛、硅、钼、锌、镁、锰和铝中的一种或多种。其他可测元素还包括氧、碳、氮、氢、磷和硫。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    ISO 14284 ISO 14707 GB/T 29559-2013
  • 采用标准：
    ISO/TS 25138:2010 表面化学分析 辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜 （等同采用 IDT）
相关部门
  • 起草单位：
    上海市计量测试技术研究院 华东师范大学 中国科学院化学研究所
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
  • 归口单位：
    全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
相关人员
暂无
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