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GB/T 34091-2017 电子工业用气体 六氟乙烷

Gas for electronic industry—Hexafluoroethane
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 34091-2017
  • 名称：
    电子工业用气体 六氟乙烷
  • 英文名称：
    Gas for electronic industry—Hexafluoroethane
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2017-07-31
  • 实施日期：
    2017-11-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【关于批准发布《道路交通标志和标线 第4部分：作业区》等203项国家标准和10项国家标准外文版的公告】
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分类信息
  • ICS分类：
    【 化工技术（71） 化工产品（71.100） 工业气体（71.100.20） 】
  • CCS分类：
    【 化工（G） 其他化工产品（G85/89） 工业气体与化学气体（G86） 】
  • 行标分类：
    暂无
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了电子工业用六氟乙烷的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运及安全。本标准适用于工业用六氟乙烷经精制提纯而得的高纯六氟乙烷产品。主要在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体或作为电子器元件清洗剂。分子式：C2F6。相对分子质量：138.012 4（按2013年国际相对原子质量)。
  • 引用标准：
    暂无
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相关部门
  • 起草单位：
    浙江省化工研究院有限公司 中昊光明化工研究设计院有限公司 西南化工研究设计院有限公司 广东华特气体股份有限公司 天津长芦华信化工股份有限公司 四川中测标物科技有限公司 上海华爱色谱分析技术有限公司 高麦仪器公司 国家化学工业气体产品质量监督检验中心（福建） 东莞市联臣电子科技有限公司
  • 归口单位：
    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
  • 主管部门：
    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
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