• 当前位置：
    首页 规范标准 GB/T 34091-2017 电子工业用气体 六氟乙烷
收藏到云盘
纠错反馈

GB/T 34091-2017 电子工业用气体 六氟乙烷

Gas for electronic industry—Hexafluoroethane
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 34091-2017
  • 名称：
    电子工业用气体 六氟乙烷
  • 英文名称：
    Gas for electronic industry—Hexafluoroethane
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2017-07-31
  • 实施日期：
    2017-11-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【关于批准发布《道路交通标志和标线 第4部分：作业区》等203项国家标准和10项国家标准外文版的公告】
    • 阅读或下载 使用APP、PC客户端等功能更强大
    • 网页在线阅读 体验阅读、搜索等基本功能
    • 用户分享资源 来自网友们上传分享的文件
    • 纸书购买 平台官方及网友推荐
分类信息
  • ICS分类：
    【 化工技术（71） 化工产品（71.100） 工业气体（71.100.20） 】
  • CCS分类：
    【 化工（G） 其他化工产品（G85/89） 工业气体与化学气体（G86） 】
  • 行标分类：
    暂无
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了电子工业用六氟乙烷的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运及安全。本标准适用于工业用六氟乙烷经精制提纯而得的高纯六氟乙烷产品。主要在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体或作为电子器元件清洗剂。分子式：C2F6。相对分子质量：138.012 4（按2013年国际相对原子质量)。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB 190 GB/T 3723 GB/T 5099 GB/T 5832.1 GB/T 7144 GB/T 14193 GB 15258 GB/T 16804 GB/T 26571 GB/T 28726 TSG R0006 危险化学品安全管理条例(2002年版) 特种设备安全监察条例(2009年版)
相关部门
  • 起草单位：
    浙江省化工研究院有限公司 中昊光明化工研究设计院有限公司 西南化工研究设计院有限公司 广东华特气体股份有限公司 天津长芦华信化工股份有限公司 四川中测标物科技有限公司 上海华爱色谱分析技术有限公司 高麦仪器公司 国家化学工业气体产品质量监督检验中心（福建） 东莞市联臣电子科技有限公司
  • 归口单位：
    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
  • 主管部门：
    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
相关人员
暂无
关联标准
  • GB/T 7445-1995 纯氢、高纯氢和超纯氢
  • GB/T 3634.2-2011 氢气 第2部分：纯氢、高纯氢和超纯氢
  • GB/T 18994-2014 电子工业用气体 高纯氯
  • GB/T 26251-2010 氟及氟氮混合气
  • GB/T 5831-2011 气体中微量氧的测定 比色法
  • GB 4962-2008 氢气使用安全技术规程
  • GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷
  • GB/T 6052-2011 工业液体二氧化碳
  • JB/T 5905-2000 真空多层绝热低温液体容器
  • GB/T 26073-2010 有毒与可燃性气体检测系统安全评价导则
  • JB/T 9074-2018 纯氮设备
  • GB/T 28727-2012 气体分析 硫化物的测定 火焰光度气相色谱法
  • GB/T 3864-1996 工业氮
  • GB/T 16942-2009 电子工业用气体 氢
  • HG/T 4985-2016 焊接用混合气体 氦/氩
  • GB/T 16944-1997 电子工业用气体 氮
  • GB/T 33774-2017 电子工业用气体 丙烯
  • DB35/T 1248-2012 福建省电子工业用锗烷气体中杂质含量的测定 气相色谱法
  • GB/T 17873-2014 纯氖和高纯氖
  • GB/T 14599-1993 高纯氧
用户分享资源

GB/T 34091-2017 电子工业用气体 六氟乙烷

Gas for electronic industry—Hexafluoroet... 上传文件 注:本列表内文件主要来源于网友们的分享上传。如您发现有不正确不合适的内容，请及时联系客服
纠错反馈
GB/T 34091-2017 电子工业用气体 六氟乙烷
提交反馈
分类列表
确定
上传文件
完全匿名 前台匿名 显示用户名 点击选择文件
{{uploadFile.name}} {{uploadFile.sizeStr}}
目前支持上传小于100MB的PDF、OCF、OCS格式文件
注:您上传文件即代表同意平台可以公开给所有用户下载。平台会根据您的选择及实际情况，为您发放相应的直接或分成奖励。平台也可以根据实际情况需要，对您上传到服务器的文件进行调整隐藏删除等，而无需通知到您。
联系客服

纸书购买链接招商中，联系客服入驻

客服QQ： 2449276725 1455033258

1098903864 1969329120

客服电话：0379-80883238

电子邮箱：ocsyun@126.com