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GB/T 34091-2017 电子工业用气体 六氟乙烷

Gas for electronic industry—Hexafluoroethane
基本信息
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了电子工业用六氟乙烷的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运及安全。本标准适用于工业用六氟乙烷经精制提纯而得的高纯六氟乙烷产品。主要在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体或作为电子器元件清洗剂。分子式：C2F6。相对分子质量：138.012 4（按2013年国际相对原子质量)。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB 190 GB/T 3723 GB/T 5099 GB/T 5832.1 GB/T 7144 GB/T 14193 GB 15258 GB/T 16804 GB/T 26571 GB/T 28726 TSG R0006 危险化学品安全管理条例(2002年版) 特种设备安全监察条例(2009年版)
相关部门
  • 起草单位：
    浙江省化工研究院有限公司 中昊光明化工研究设计院有限公司 西南化工研究设计院有限公司 广东华特气体股份有限公司 天津长芦华信化工股份有限公司 四川中测标物科技有限公司 上海华爱色谱分析技术有限公司 高麦仪器公司 国家化学工业气体产品质量监督检验中心（福建） 东莞市联臣电子科技有限公司
  • 归口单位：
    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
  • 主管部门：
    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
相关人员
暂无
关联标准