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GB/T 34085-2017 电子工业用气体 三氟甲烷

Gas for electronic industry—Trifluoromethane
基本信息
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了电子工业用三氟甲烷的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以二氟一氯甲烷、三氯甲烷和氟化氢为原料制备的三氟甲烷产品。它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体。分子式：CHF3。相对分子质量：70.013（按2011年国际相对原子质量)。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB 190 GB/T 3723 GB/T 5099 GB/T 5832.3 GB/T 7144 GB/T 14193 GB 15258 GB/T 16804 GB/T 26571 GB/T 28726 TSG R0006 危险化学品安全管理条例(2002版) 特种设备安全监察条例(2009版)
相关部门
  • 起草单位：
    中昊光明化工研究设计院有限公司 西南化工研究设计院有限公司 大连大特气体有限公司 广东华特气体股份有限公司 天津长芦华信化工股份有限公司 浙江巨化股份有限公司 上海华爱色谱分析技术有限公司 浙江省化工研究院 高麦仪器公司 国家化学工业气体产品质量监督检验中心（福建） 东莞市联臣电子科技有限公司
  • 归口单位：
    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
相关人员
暂无
关联标准