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GB/T 33826-2017 玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量 触针式轮廓仪法

Measurement of nanofilm thickness on glass substrate—Profilometric method
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 33826-2017
  • 名称：
    玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量 触针式轮廓仪法
  • 英文名称：
    Measurement of nanofilm thickness on glass substrate—Profilometric method
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2017-05-31
  • 实施日期：
    2017-12-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【关于批准发布《充气轮胎物理性能试验方法》等155项国家标准的公告】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了用触针式轮廓仪法测量玻璃衬底上纳米薄膜厚度的原理、仪器要求、试验环境、要求、步骤及测试报告等。本标准适用于玻璃衬底上厚度在10 nm～1 000 nm范围内的纳米薄膜厚度测量，且薄膜与衬底之间存在或可刻蚀出台阶。其他硬质平面衬底可参考本标准执行。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB/T 29505
相关部门
  • 归口单位：
    1) 全国纳米技术标准化技术委员会纳米材料分技术委员会(SAC/TC 279/SC
  • 主管部门：
    1) 全国纳米技术标准化技术委员会纳米材料分技术委员会(SAC/TC 279/SC
  • 起草单位：
    冶金工业信息标准研究院 宣城晶瑞新材料有限公司 中国建筑材料科学研究总院 漳州旗滨玻璃有限公司
  • 提出部门：
    中国科学院
相关人员
暂无
关联标准