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GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷

Gas for electronic industry—Silane
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 15909-2017
  • 名称：
    电子工业用气体 硅烷
  • 英文名称：
    Gas for electronic industry—Silane
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2017-05-31
  • 实施日期：
    2017-12-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【关于批准发布《充气轮胎物理性能试验方法》等155项国家标准的公告】
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分类信息
  • ICS分类：
    【 化工技术（71） 化工产品（71.100） 工业气体（71.100.20） 】
  • CCS分类：
    【 化工（G） 其他化工产品（G85/89） 工业气体与化学气体（G86） 】
  • 行标分类：
    暂无
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了硅烷气体的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运及安全的内容。本标准适用于硅化镁法、氢化铝钠还原四氟化硅法、氯硅烷歧化工艺法制备的电子工业用硅烷。  它主要用于制作高纯多晶硅、二氧化硅的低温化学气相淀积、氮化硅化学气相淀积、多晶硅隔离层、多晶硅欧姆接触层和异质或同质硅外延生长原料以及离子注入源和激光介质等，还可用于制作太阳能电池、光导纤维和光电传感器等。分子式：SiH4。相对分子质量：32.117（按2011年国际相对原子质量）。
  • 引用标准：
    暂无
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  • 代替标准：
    GB/T 15909-2009
  • 引用标准：
    GB 190 GB/T 3723 GB/T 5099 GB/T 5832.1 GB/T 7144 GB/T 11446.1 GB/T 14193 GB 15258 GB/T 16804 GB/T 26571 GB/T 28726 TSG R0006 危险化学品安全管理条例 特种设备安全监察条例
相关部门
  • 归口单位：
    1) 203/SC 全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC
  • 起草单位：
    中昊光明化工研究设计院有限公司 西南化工研究设计院有限公司 浙江大学 大连大特气体有限公司 广东华特气体股份有限公司 江苏中能硅业科技发展有限公司 天津长芦华信化工股份有限公司 上海华爱色谱分析技术有限公司 高麦仪器公司 浙江赛林硅业有限公司 上海计量测试研究院 化工气体质检中心 浙江中宁硅业有限公司 南京亚格泰新能源材料有限公司 安徽省滁州市硅谷特种气体有限公司
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
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暂无
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