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GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷
Gas for electronic industry—Silane
基本信息
分类信息
-
ICS分类:
【
化工技术(71)
化工产品(71.100)
工业气体(71.100.20)
】
-
CCS分类:
【
化工(G)
其他化工产品(G85/89)
工业气体与化学气体(G86)
】
-
行标分类:
暂无
描述信息
相关标准
相关部门
-
归口单位:
1)
203/SC
全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC
-
起草单位:
中昊光明化工研究设计院有限公司
西南化工研究设计院有限公司
浙江大学
大连大特气体有限公司
广东华特气体股份有限公司
江苏中能硅业科技发展有限公司
天津长芦华信化工股份有限公司
上海华爱色谱分析技术有限公司
高麦仪器公司
浙江赛林硅业有限公司
上海计量测试研究院
化工气体质检中心
浙江中宁硅业有限公司
南京亚格泰新能源材料有限公司
安徽省滁州市硅谷特种气体有限公司
-
主管部门:
国家标准化管理委员会
相关人员
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