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GB/T 34972-2017 电子工业用气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

Determination of metal content in gases—Inductively coupled plasma mass spectrometry method
基本信息
  • 标准号:
    GB/T 34972-2017
  • 名称:
    电子工业用气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
  • 英文名称:
    Determination of metal content in gases—Inductively coupled plasma mass spectrometry method
  • 状态:
    现行
  • 类型:
    国家标准
  • 性质:
    推荐性
  • 发布日期:
    2017-11-01
  • 实施日期:
    2018-02-01
  • 废止日期:
    暂无
  • 相关公告:
    实施公告【关于批准发布《标准电压》等585项国家标准和2项国家标准修改单的公告】
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分类信息
  • ICS分类:
    化工技术(71) 分析化学(71.040) 化学分析(71.040.40)
  • CCS分类:
    化工(G) 其他化工产品(G85/89) 工业气体与化学气体(G86)
  • 行标分类:
    暂无
描述信息
  • 前言:
    暂无
  • 适用范围:
    本标准规定了应用电感耦合等离子体质谱仪测定电子工业用气体中金属元素含量的方法。金属元素测定范围见表1。本标准适用的电子工业用气体种类:氧、氮、氩、氦、氢、氨、氯化氢、硅烷、高纯氯、六氟化硫、三氯化硼、三氟化氮、氧化亚氮、六氟乙烷、六氟丁二烯等气体。本标准适用的电子工业用气体取样状态:气态。
  • 引用标准:
    暂无
相关标准
  • 引用标准:
    GB/T 3723 GB/T 4842 GB/T 8979 GB/T 11446.1
相关部门
  • 起草单位:
    中昊光明化工研究设计院有限公司 西南化工研究设计院有限公司 上海市计量测试技术研究院 广东华特气体股份有限公司 北京华宇同方化工科技开发有限公司 苏州金宏气体股份有限公司 上海华爱色谱分析技术有限公司 高麦仪器公司
  • 归口单位:
    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
  • 主管部门:
    国家标准化管理委员会
相关人员
暂无
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