• 当前位置：
    首页 规范标准 GB/T 34971-2017 半导体制造用气体处理指南
收藏到云盘
纠错反馈

GB/T 34971-2017 半导体制造用气体处理指南

Guide for gaseous effluent handling in semiconductor industry
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 34971-2017
  • 名称：
    半导体制造用气体处理指南
  • 英文名称：
    Guide for gaseous effluent handling in semiconductor industry
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2017-11-01
  • 实施日期：
    2018-02-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【关于批准发布《标准电压》等585项国家标准和2项国家标准修改单的公告】
    • 阅读或下载 使用APP、PC客户端等功能更强大
    • 网页在线阅读 体验阅读、搜索等基本功能
    • 用户分享资源 来自网友们上传分享的文件
    • 纸书购买 平台官方及网友推荐
分类信息
  • ICS分类：
    【 化工技术（71） 分析化学（71.040） 化学分析（71.040.40） 】
  • CCS分类：
    【 化工（G） 其他化工产品（G85/89） 工业气体与化学气体（G86） 】
  • 行标分类：
    暂无
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了半导体制造用气体排放系统的原理及技术。本标准适用于半导体制造用气体的处理。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
暂无
相关部门
  • 起草单位：
    中昊光明化工研究设计院有限公司 西南化工研究设计院有限公司 上海市计量测试技术研究院 广东华特气体股份有限公司 上海华爱色谱分析技术有限公司 高麦仪器公司 东莞市联臣电子科技有限公司
  • 归口单位：
    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
相关人员
暂无
关联标准
  • HG/T 2755-1996 酚醛树脂中六亚甲基四胺含量的测定
  • GB/T 28727-2012 气体分析 硫化物的测定 火焰光度气相色谱法
  • HG/T 3533-2011 工业循环冷却水污垢和腐蚀产物中灼烧失重测定方法
  • GB/T 16555.1-1996 碳化硅耐火材料化学分析方法 吸收重量法测定碳化硅量
  • GB/T 14636-2007 工业循环冷却水中钙、镁含量的测定　原子吸收光谱法
  • GB/T 23274.3-2009 二氧化锡化学分析方法 第3部分：砷量的测定 砷锑钼蓝分光光度法
  • NB/T 10069-2018 煤基费托合成油、合成蜡铁含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法
  • GB/T 37185-2018 气体分析 室内挥发性有害有机物的测定 “SUMMA罐-硅烷化管”采样气相色谱/质谱联用（GC/MS）法
  • GB/T 16555.6-1996 碳化硅耐火材料化学分析方法 测定二氧化硅量
  • GB/T 15909-2009 电子工业用气体 硅烷(SiH4)
  • HG/T 2156-2009 工业循环冷却水中阴离子表面活性剂的测定 亚甲蓝分光光度法
  • HG/T 2024-2009 水处理剂阻垢性能的测定方法 鼓泡法
  • GB/T 10624-1995 高纯氩
  • HG/T 3518-2003 工业循环冷却水中巯基苯骈噻唑测定方法
  • HG/T 3536-2011 工业循环冷却水污垢和腐蚀产物中二氧化碳含量的测定方法
  • GB/T 14603-1993 电子工业用气体 三氟化硼
  • GB/T 34172-2017 微束分析 电子背散射衍射 金属及合金的相分析方法
  • HG/T 3342-1985 油脂碘价测定法
  • GB/T 15244-2013 微束分析 硅酸盐玻璃的定量分析 波谱法及能谱法
  • TB/T 2059.6-2006 内燃机车冷却液分析方法 第6部分：氯离子的测定
用户分享资源

GB/T 34971-2017 半导体制造用气体处理指南

Guide for gaseous effluent handling in s... 上传文件 注:本列表内文件主要来源于网友们的分享上传。如您发现有不正确不合适的内容，请及时联系客服
纠错反馈
GB/T 34971-2017 半导体制造用气体处理指南
提交反馈
分类列表
确定
上传文件
完全匿名 前台匿名 显示用户名 点击选择文件
{{uploadFile.name}} {{uploadFile.sizeStr}}
目前支持上传小于100MB的PDF、OCF、OCS格式文件
注:您上传文件即代表同意平台可以公开给所有用户下载。平台会根据您的选择及实际情况，为您发放相应的直接或分成奖励。平台也可以根据实际情况需要，对您上传到服务器的文件进行调整隐藏删除等，而无需通知到您。
联系客服

纸书购买链接招商中，联系客服入驻

客服QQ： 2449276725 1455033258

1098903864 1969329120

客服电话：0379-80883238

电子邮箱：ocsyun@126.com