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GB/T 34971-2017 半导体制造用气体处理指南

Guide for gaseous effluent handling in semiconductor industry
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 34971-2017
  • 名称：
    半导体制造用气体处理指南
  • 英文名称：
    Guide for gaseous effluent handling in semiconductor industry
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2017-11-01
  • 实施日期：
    2018-02-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【关于批准发布《标准电压》等585项国家标准和2项国家标准修改单的公告】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了半导体制造用气体排放系统的原理及技术。本标准适用于半导体制造用气体的处理。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
暂无
相关部门
  • 起草单位：
    中昊光明化工研究设计院有限公司 西南化工研究设计院有限公司 上海市计量测试技术研究院 广东华特气体股份有限公司 上海华爱色谱分析技术有限公司 高麦仪器公司 东莞市联臣电子科技有限公司
  • 归口单位：
    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
相关人员
暂无
关联标准