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GB/T 34899-2017 微机电系统（MEMS）技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法

Micro-electromechanical system technology—Measuring method of microstructure surface stress based on Raman spectroscopy
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 34899-2017
  • 名称：
    微机电系统（MEMS）技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法
  • 英文名称：
    Micro-electromechanical system technology—Measuring method of microstructure surface stress based on Raman spectroscopy
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2017-11-01
  • 实施日期：
    2018-05-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【关于批准发布《标准电压》等585项国家标准和2项国家标准修改单的公告】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了拉曼光谱法测定微机电系统(MEMS)结构表面残余应力、相对静态应力、相对动态应力的方法。本标准适用于微机电系统(MEMS)结构表面残余应力、相对静态应力、相对动态应力的拉曼光谱法测试。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB/T 2421.1 GB/T 25915.1 GB/T 26111 JJF 1544-2015
相关部门
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
  • 起草单位：
    中机生产力促进中心 中北大学
  • 归口单位：
    全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
相关人员
暂无
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