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GB/T 34898-2017 微机电系统（MEMS）技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法

Micro electromechanical system technology—Test method for the nonlinear vibration of the MEMS resonant sensitive element
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 34898-2017
  • 名称：
    微机电系统（MEMS）技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法
  • 英文名称：
    Micro electromechanical system technology—Test method for the nonlinear vibration of the MEMS resonant sensitive element
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2017-11-01
  • 实施日期：
    2018-05-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【关于批准发布《标准电压》等585项国家标准和2项国家标准修改单的公告】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了谐振式传感器中MEMS谐振敏感元件（以下简称敏感元件）非线性振动特性参数的测试方法。本标准适用于敏感元件在研制和生产过程中关于非线性振动特性和敏感元件闭环系统频率偏移的测试，其他非MEMS敏感元件可参考使用。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB/T 2298 GB/T 26111 GB/T 26112
相关部门
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
  • 起草单位：
    中机生产力促进中心 北京遥测技术研究所
  • 归口单位：
    全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
相关人员
暂无
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