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GB/T 34893-2017 微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法
Micro-electromechanical system technology—Measuring method for in-plane length measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer
基本信息
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标准号：
GB/T 34893-2017
-
名称：
微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法
-
英文名称：
Micro-electromechanical system technology—Measuring method for in-plane length measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer
-
状态：
现行
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类型：
国家标准
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性质：
推荐性
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发布日期：
2017-11-01
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实施日期：
2018-05-01
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废止日期：
暂无
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相关公告：
实施公告【关于批准发布《标准电压》等585项国家标准和2项国家标准修改单的公告】
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【
电子学（31）
集成电路、微电子学（31.200）
】
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CCS分类：
【
电子元器件与信息技术（L）
微电路（L55/59）
微电路综合（L55）
】
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行标分类：
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描述信息
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