• 当前位置：
    首页 规范标准 GB/T 34504-2017 蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法
收藏到云盘
纠错反馈

GB/T 34504-2017 蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法

Measurement method for surface metal contamination on sapphire polished substrate wafer
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 34504-2017
  • 名称：
    蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法
  • 英文名称：
    Measurement method for surface metal contamination on sapphire polished substrate wafer
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2017-10-14
  • 实施日期：
    2018-05-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【关于批准发布《智慧城市 技术参考模型》等425项国家标准的公告】
    • 阅读或下载 使用APP、PC客户端等功能更强大
    • 网页在线阅读 体验阅读、搜索等基本功能
    • 用户分享资源 来自网友们上传分享的文件
    • 纸书购买 平台官方及网友推荐
分类信息
  • ICS分类：
    【 冶金（77） 金属材料试验（77.040） 】
  • CCS分类：
    【 冶金（H） 金属化学分析方法（H10/19） 半金属及半导体材料分析方法（H17） 】
  • 行标分类：
    暂无
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了蓝宝石抛光衬底片表面深度为5 nm以内的残留金属元素的全反射X光荧光光谱测试方法。本标准适用于蓝宝石抛光衬底片表面残留的、在元素周期表中11(Na)～92(U)号（除去铝和氧)，且面密度在109 atoms/cm2～1015 atoms/cm2范围内元素的定量测量。其他用途蓝宝石抛光片表面残留金属元素的测量可参照本标准执行。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB/T 8979-2008 GB/T 14264 GB 50073-2013
相关部门
  • 归口单位：
    2) 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
  • 起草单位：
    天通控股股份有限公司
相关人员
暂无
关联标准
  • YS/T 1301-2019 氯硅烷中三氯氧磷、三氯化磷的测定 气相色谱质谱联用法
  • GB/T 4700.1-1984 硅钙合金化学分析方法 高氯酸脱水重量法测定硅量
  • YS/T 983-2014 多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法
  • GB/T 24578-2015 硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法
  • GB/T 11068-2006 砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法
  • GB/T 8760-2006 砷化镓单晶位错密度的测量方法
  • YS/T 1166-2016 高纯四氯化锗红外透过率的测定方法
  • GB/T 4060-2007 硅多晶真空区熔基硼检验方法
  • GB/T 32280-2022 硅片翘曲度和弯曲度的测试 自动非接触扫描法
  • GB/T 4700.4-1998 硅钙合金化学分析方法 磷钼蓝分光光度法测定磷量
  • GB/T 39144-2020 氮化镓材料中镁含量的测定 二次离子质谱法
  • YB/T 136-1998 镀锡钢板（带）表面油和铬的试验方法
  • YS/T 469-2004 氧化铝、氢氧化铝白度测定方法
  • GB/T 4699.2-1984 硅铬合金化学分析方法 碱熔-过硫酸铵氧化容量法测定铬量
  • SJ/T 11630-2016 太阳能电池用硅片几何尺寸测试方法
  • YS/T 227.4-1994 碲中铁量的测定(邻菲啰啉吸光光度法)
  • GB/T 5314-1985 粉末冶金用粉末的取样方法
  • YS/T 519.1-2009 砷化学分析方法 第1部分：砷量的测定 溴酸钾滴定法
  • JB/T 10063-1999 超声探伤用1号标准试块 技术条件
  • SJ/T 11631-2016 太阳能电池用硅片外观缺陷测试方法
用户分享资源

GB/T 34504-2017 蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法

Measurement method for surface metal con... 上传文件 注:本列表内文件主要来源于网友们的分享上传。如您发现有不正确不合适的内容，请及时联系客服
纠错反馈
GB/T 34504-2017 蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法
提交反馈
分类列表
确定
上传文件
完全匿名 前台匿名 显示用户名 点击选择文件
{{uploadFile.name}} {{uploadFile.sizeStr}}
目前支持上传小于100MB的PDF、OCF、OCS格式文件
注:您上传文件即代表同意平台可以公开给所有用户下载。平台会根据您的选择及实际情况，为您发放相应的直接或分成奖励。平台也可以根据实际情况需要，对您上传到服务器的文件进行调整隐藏删除等，而无需通知到您。
联系客服

纸书购买链接招商中，联系客服入驻

客服QQ： 2449276725 1455033258

1098903864 1969329120

客服电话：0379-80883238

电子邮箱：ocsyun@126.com