GB/T 34504-2017 蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法

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Measurement method for surface metal contamination on sapphire polished substrate wafer

基本信息

标准号：

GB/T 34504-2017
名称：

蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法
英文名称：

Measurement method for surface metal contamination on sapphire polished substrate wafer
状态：

现行
类型：

国家标准
性质：

推荐性
发布日期：

2017-10-14
实施日期：

2018-05-01
废止日期：

暂无
相关公告：

实施公告【关于批准发布《智慧城市技术参考模型》等425项国家标准的公告】

分类信息

描述信息

前言：

暂无
适用范围：

本标准规定了蓝宝石抛光衬底片表面深度为5 nm以内的残留金属元素的全反射X光荧光光谱测试方法。本标准适用于蓝宝石抛光衬底片表面残留的、在元素周期表中11(Na)～92(U)号（除去铝和氧)，且面密度在109 atoms/cm2～1015 atoms/cm2范围内元素的定量测量。其他用途蓝宝石抛光片表面残留金属元素的测量可参照本标准执行。
引用标准：

暂无