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GB/T 34504-2017 蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法

Measurement method for surface metal contamination on sapphire polished substrate wafer
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 34504-2017
  • 名称：
    蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法
  • 英文名称：
    Measurement method for surface metal contamination on sapphire polished substrate wafer
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2017-10-14
  • 实施日期：
    2018-05-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【关于批准发布《智慧城市 技术参考模型》等425项国家标准的公告】
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分类信息
  • ICS分类：
    【 冶金（77） 金属材料试验（77.040） 】
  • CCS分类：
    【 冶金（H） 金属化学分析方法（H10/19） 半金属及半导体材料分析方法（H17） 】
  • 行标分类：
    暂无
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了蓝宝石抛光衬底片表面深度为5 nm以内的残留金属元素的全反射X光荧光光谱测试方法。本标准适用于蓝宝石抛光衬底片表面残留的、在元素周期表中11(Na)～92(U)号（除去铝和氧)，且面密度在109 atoms/cm2～1015 atoms/cm2范围内元素的定量测量。其他用途蓝宝石抛光片表面残留金属元素的测量可参照本标准执行。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB/T 8979-2008 GB/T 14264 GB 50073-2013
相关部门
  • 归口单位：
    2) 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
  • 起草单位：
    天通控股股份有限公司
相关人员
暂无
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