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GB/T 5226.33-2017 机械电气安全 机械电气设备 第33部分：半导体设备技术条件

Electrical safety of machinary—Electrical equipment of machines—Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 5226.33-2017
  • 名称：
    机械电气安全 机械电气设备 第33部分：半导体设备技术条件
  • 英文名称：
    Electrical safety of machinary—Electrical equipment of machines—Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2017-10-14
  • 实施日期：
    2018-05-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【关于批准发布《智慧城市 技术参考模型》等425项国家标准的公告】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    暂无
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 采用标准：
    IEC 60204-33:2009 机械电气安全 机械电气设备 第33部分:半导体设备技术条件 （等同采用 IDT）
相关部门
  • 提出部门：
    中国机械工业联合会
  • 归口单位：
    全国工业机械电气系统标准化技术委员会(SAC/TC 231)
  • 主管部门：
    全国工业机械电气系统标准化技术委员会(SAC/TC 231)
  • 起草单位：
    中微半导体设备(上海)有限公司
相关人员
暂无
关联标准