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GB/T 5226.33-2017 机械电气安全 机械电气设备 第33部分:半导体设备技术条件

Electrical safety of machinary—Electrical equipment of machines—Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment
基本信息
  • 标准号:
    GB/T 5226.33-2017
  • 名称:
    机械电气安全 机械电气设备 第33部分:半导体设备技术条件
  • 英文名称:
    Electrical safety of machinary—Electrical equipment of machines—Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment
  • 状态:
    现行
  • 类型:
    国家标准
  • 性质:
    推荐性
  • 发布日期:
    2017-10-14
  • 实施日期:
    2018-05-01
  • 废止日期:
    暂无
  • 相关公告:
    实施公告【关于批准发布《智慧城市 技术参考模型》等425项国家标准的公告】
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分类信息
  • ICS分类:
    电气工程(29) 电气工程综合(29.020)
  • CCS分类:
    机械(J) 机械综合(J00/09) 卫生、安全、劳动保护(J09)
  • 行标分类:
    暂无
描述信息
  • 前言:
    暂无
  • 适用范围:
    暂无
  • 引用标准:
    暂无
相关标准
  • 采用标准:
    IEC 60204-33:2009 机械电气安全 机械电气设备 第33部分:半导体设备技术条件 (等同采用 IDT)
相关部门
  • 提出部门:
    中国机械工业联合会
  • 归口单位:
    全国工业机械电气系统标准化技术委员会(SAC/TC 231)
  • 主管部门:
    全国工业机械电气系统标准化技术委员会(SAC/TC 231)
  • 起草单位:
    中微半导体设备(上海)有限公司
相关人员
暂无
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