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GB/T 5226.33-2017 机械电气安全 机械电气设备 第33部分：半导体设备技术条件
Electrical safety of machinary—Electrical equipment of machines—Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment
基本信息
-
标准号：
GB/T 5226.33-2017
-
名称：
机械电气安全 机械电气设备 第33部分：半导体设备技术条件
-
英文名称：
Electrical safety of machinary—Electrical equipment of machines—Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment
-
状态：
现行
-
类型：
国家标准
-
性质：
推荐性
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发布日期：
2017-10-14
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实施日期：
2018-05-01
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废止日期：
暂无
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相关公告：
实施公告【关于批准发布《智慧城市 技术参考模型》等425项国家标准的公告】
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【
电气工程（29）
电气工程综合（29.020）
】
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CCS分类：
【
机械（J）
机械综合（J00/09）
卫生、安全、劳动保护（J09）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
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