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GB/T 35310-2017 200mm硅外延片

200mm silicon epitaxial wafer
基本信息
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了直径200 mm硅外延片的术语和定义、产品分类、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、质量证明书。本标准适用于在N型和P型硅抛光衬底片上外延生长的硅外延片。产品主要用于制作集成电路或半导体器件。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB/T 1550 GB/T 1555 GB/T 2828.1 GB/T 6617 GB/T 6618 GB/T 6619 GB/T 6620 GB/T 6621 GB/T 6624 GB/T 12964 GB/T 14141 GB/T 14142 GB/T 14146 GB/T 14264 GB/T 14847 GB/T 19921 GB/T 24578 GB/T 29507 GB/T 32280 YS/T 28
相关部门
  • 归口单位：
    2) 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC
  • 起草单位：
    有色金属技术经济研究院 南京国盛电子有限公司
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
相关人员
暂无
关联标准