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GB/T 35309-2017 用区熔法和光谱分析法评价颗粒状多晶硅的规程

Practice for evaluation of granular polysilicon by melter-zoner and spectroscopies
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 35309-2017
  • 名称：
    用区熔法和光谱分析法评价颗粒状多晶硅的规程
  • 英文名称：
    Practice for evaluation of granular polysilicon by melter-zoner and spectroscopies
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2017-12-29
  • 实施日期：
    2018-07-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【关于批准发布《养老机构服务质量基本规范》等1090项国家标准、4项国家标准修改单和51项国家标准外文版的公告】
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分类信息
  • ICS分类：
    【 冶金（77） 金属材料试验（77.040） 】
  • CCS分类：
    【 冶金（H） 金属化学分析方法（H10/19） 半金属及半导体材料分析方法（H17） 】
  • 行标分类：
    暂无
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了用区熔法和光谱分析法评价颗粒状多晶硅的代位碳原子浓度、施主杂质浓度和受主杂质浓度的方法。本标准适用于尺寸为600 μm～3 000 μm的颗粒状多晶硅，其他尺寸的颗粒状多晶硅可参照本标准执行。
  • 引用标准：
    暂无
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相关部门
  • 归口单位：
    2) 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
  • 起草单位：
    新特能源股份有限公司 江苏中能硅业科技发展有限公司 洛阳中硅高科技有限公司 青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司 天津市环欧半导体材料技术有限公司
相关人员
暂无
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