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GB/T 34326-2017 表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度测量方法

Surface chemical analysis—Depth profiling—Methods for ion beam alignment and the associated measurement of current or current density for depth profiling in AES and XPS
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 34326-2017
  • 名称：
    表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度测量方法
  • 英文名称：
    Surface chemical analysis—Depth profiling—Methods for ion beam alignment and the associated measurement of current or current density for depth profiling in AES and XPS
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2017-09-29
  • 实施日期：
    2018-08-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【关于批准发布《小型游乐设施安全规范》等237项国家标准和3项国家标准修改单的公告】
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分类信息
  • ICS分类：
    【 化工技术（71） 分析化学（71.040） 化学分析（71.040.40） 】
  • CCS分类：
    【 化工（G） 化工综合（G00/09） 基础标准与通用方法（G04） 】
  • 行标分类：
    暂无
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了在俄歇电子能谱（AES）和X射线光电子能谱（XPS）中使用惰性气体离子以保证溅射深度剖析具有好的深度分辨率以及最佳表面清洁效果而采取的离子束对准方法。这些方法分为两类：一类通过法拉第杯测量离子束流，另一类通过成像方法。法拉第杯方法也规定了离子束束流密度和束流分布的测量。这些方法不包括深度分辨率的优化。这些方法均适用于束斑直径小于1 mm的离子枪。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    ISO 18115-1
  • 采用标准：
    ISO 16531:2013 表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准及相关电流或电流密度测量 （等同采用 IDT）
相关部门
  • 起草单位：
    中国计量科学研究院
  • 归口单位：
    全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
  • 主管部门：
    全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
相关人员
暂无
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