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GB/T 34177-2017 光刻用石英玻璃晶圆

Quartz glass wafer for lithography
基本信息
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了光刻用石英玻璃晶圆（以下简称石英玻璃晶圆)的术语和定义、分类、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统（MEMS)、光电器件和发光二极管（LED)等光刻工艺中用做衬底的石英玻璃晶圆。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB/T 3284-2015 GB/T 5949 GB/T 32189 JC/T 185 JC/T 655 JC/T 2205
相关部门
  • 提出部门：
    中国建筑材料联合会
  • 归口单位：
    全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会(SAC/TC 447)
  • 起草单位：
    中国建材检验认证集团股份有限公司 国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心 中建材衢州金格兰石英有限公司 中国建筑材料科学研究总院 长沙韶光铬版有限公司
相关人员
暂无
关联标准