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GB/T 34177-2017 光刻用石英玻璃晶圆

Quartz glass wafer for lithography
基本信息
  • 标准号:
    GB/T 34177-2017
  • 名称:
    光刻用石英玻璃晶圆
  • 英文名称:
    Quartz glass wafer for lithography
  • 状态:
    现行
  • 类型:
    国家标准
  • 性质:
    推荐性
  • 发布日期:
    2017-09-07
  • 实施日期:
    2018-08-01
  • 废止日期:
    暂无
  • 相关公告:
    实施公告【关于批准发布《公路路线标识规则和国道编号》等300项国家标准和1项国家标准修改单的公告】
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分类信息
  • ICS分类:
    玻璃和陶瓷工业(81) 玻璃(81.040) 玻璃产品(81.040.30)
  • CCS分类:
    建材(Q) 陶瓷、玻璃(Q30/39) 石英玻璃(Q35)
  • 行标分类:
    暂无
描述信息
  • 前言:
    暂无
  • 适用范围:
    本标准规定了光刻用石英玻璃晶圆(以下简称石英玻璃晶圆)的术语和定义、分类、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统(MEMS)、光电器件和发光二极管(LED)等光刻工艺中用做衬底的石英玻璃晶圆。
  • 引用标准:
    暂无
相关标准
  • 引用标准:
    GB/T 3284-2015 GB/T 5949 GB/T 32189 JC/T 185 JC/T 655 JC/T 2205
相关部门
  • 提出部门:
    中国建筑材料联合会
  • 归口单位:
    全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会(SAC/TC 447)
  • 起草单位:
    中国建材检验认证集团股份有限公司 国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心 中建材衢州金格兰石英有限公司 中国建筑材料科学研究总院 长沙韶光铬版有限公司
相关人员
暂无
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