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GB/T 35158-2017 俄歇电子能谱仪检定方法

Verification method for Auger electron spectrometers(AES)
基本信息
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了俄歇电子能谱仪(Auger electron spectrometer)的检定方法。本标准适用于激发源为电子束，且带有溅射清洁用离子枪的俄歇电子能谱仪。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB/T 20175-2006 GB/T 21006-2007 GB/T 28632-2012 GB/T 29558-2013 GB/T 29731-2013 GB/T 29732-2013 GB/T 32998-2016 ISO 16531:2013 ISO 17109:2015
相关部门
  • 起草单位：
    厦门大学 清华大学
  • 归口单位：
    全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
  • 主管部门：
    全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
相关人员
暂无
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