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GB/T 36969-2018 纳米技术 原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法

Nanotechnology—Method for the measurement of the nanofilm-thickness by atomic force microscopy
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 36969-2018
  • 名称：
    纳米技术 原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法
  • 英文名称：
    Nanotechnology—Method for the measurement of the nanofilm-thickness by atomic force microscopy
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2018-12-28
  • 实施日期：
    2018-12-28
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【关于批准发布《农产品基本信息描述 谷物类》等国家标准和国家标准修改单的公告】
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分类信息
  • ICS分类：
    【 计量学和测量、物理现象（17） 长度和角度测量（17.040） 表面特征（17.040.20） 】
  • CCS分类：
    【 机械（J） 机械综合（J00/09） 基础标准与通用方法（J04） 】
  • 行标分类：
    暂无
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了使用原子力显微术（AFM)测量纳米薄膜厚度的原理、测试条件、设备、样品、测试步骤和数据处理。本标准适用于表面均匀、平整的纳米范围厚度的无机材料薄膜。较厚的和一些有机薄膜的膜厚测定也可参照执行。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB/T 31227 JJF 1059.1-2012
相关部门
  • 提出部门：
    中国科学院
  • 起草单位：
    上海交通大学 纳米技术及应用国家工程研究中心
  • 归口单位：
    全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC 279)
相关人员
暂无
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