收藏到云盘
纠错反馈
GB/T 36653-2018 电子级三甲基铝
Electronic grade trimethylaluminium
基本信息
分类信息
-
ICS分类:
【
化工技术(71)
化工产品(71.100)
工业气体(71.100.20)
】
-
CCS分类:
【
化工(G)
其他化工产品(G85/89)
工业气体与化学气体(G86)
】
-
行标分类:
暂无
描述信息
相关标准
相关部门
-
起草单位:
中国电子技术标准化研究院
江苏南大光电材料股份有限公司
-
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC
203)
-
主管部门:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC
203)
相关人员
关联标准
-
GB/T 26570.1-2011
气体中颗粒含量的测定 光散射法 第1部分:管道气体中颗粒含量的测定
-
GB/T 14604-1993
电子工业用气体 氧
-
JB/T 11006-2010
空气分离设备 产品型号编制方法
-
GB/T 16942-1997
电子工业用气体 氢
-
GB/T 5828-2006
氙气
-
GB/T 5831-2011
气体中微量氧的测定 比色法
-
GB/T 35528-2017
低温液化气体安全指南
-
GB/T 31987-2015
电子工业用气体 锗烷
-
GB 5138-2006
工业用液氯
-
DB35/T 1248-2012
福建省电子工业用锗烷气体中杂质含量的测定 气相色谱法
-
GB/T 8982-2009
医用及航空呼吸用氧
-
GB/T 14851-1993
电子工业用气体 磷化氢
-
GB/T 16943-2009
电子工业用气体 氦
-
JB/T 8693-2015
大中型空气分离设备
-
GB 13591-1992
溶解乙炔充装规定
-
GB/T 28123-2011
工业氦
-
GB/T 34091-2017
电子工业用气体 六氟乙烷
-
DB35/T 1584-2016
福建省天然气中硫化氢含量的测定 层析法
-
JB/T 6896-2007
空气分离设备表面清洁度
-
GB/T 22025-2008
气雾剂级异丁烷(A-31)