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GB/T 36653-2018 电子级三甲基铝

Electronic grade trimethylaluminium
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 36653-2018
  • 名称：
    电子级三甲基铝
  • 英文名称：
    Electronic grade trimethylaluminium
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2018-09-17
  • 实施日期：
    2019-01-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【关于批准发布《中小学校普通教室照明设计安装卫生要求》等454项国家标准和6项国家标准修改单的公告】
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分类信息
  • ICS分类：
    【 化工技术（71） 化工产品（71.100） 工业气体（71.100.20） 】
  • CCS分类：
    【 化工（G） 其他化工产品（G85/89） 工业气体与化学气体（G86） 】
  • 行标分类：
    暂无
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了三甲基铝的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、储存和安全。
    本标准适用于烷基交换法、钠还原法三种化学合成法制备并经精制纯化的三甲基铝。该产品主要用于生长化合物半导体薄膜材料等。
    分子式：C3H9Al
    相对分子质量：72.09(按2013年国际相对原子质量计算)
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB 190 GB/T 3723 GB/T 6680 GB/T 11446.1 GB 12463 GB 15258 GB 15603 GB 50073
相关部门
  • 起草单位：
    中国电子技术标准化研究院 江苏南大光电材料股份有限公司
  • 归口单位：
    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
  • 主管部门：
    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
相关人员
暂无
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