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GB/T 36653-2018 电子级三甲基铝
Electronic grade trimethylaluminium基本信息
- 标准号:GB/T 36653-2018
- 名称:电子级三甲基铝
- 英文名称:Electronic grade trimethylaluminium
- 状态:现行
- 类型:国家标准
- 性质:推荐性
- 发布日期:2018-09-17
- 实施日期:2019-01-01
- 废止日期:暂无
- 相关公告:
分类信息
- ICS分类:【 】
- CCS分类:【 】
- 行标分类:暂无
描述信息
- 前言:暂无
- 适用范围:本标准规定了三甲基铝的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、储存和安全。
本标准适用于烷基交换法、钠还原法三种化学合成法制备并经精制纯化的三甲基铝。该产品主要用于生长化合物半导体薄膜材料等。
分子式:C3H9Al
相对分子质量:72.09(按2013年国际相对原子质量计算) - 引用标准:暂无
相关标准
- 引用标准:GB 190 GB/T 3723 GB/T 6680 GB/T 11446.1 GB 12463 GB 15258 GB 15603 GB 50073
相关部门
- 起草单位:中国电子技术标准化研究院 江苏南大光电材料股份有限公司
- 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
- 主管部门:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
相关人员
暂无
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