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GB/T 36653-2018 电子级三甲基铝
Electronic grade trimethylaluminium
基本信息
分类信息
-
ICS分类:
【
化工技术(71)
化工产品(71.100)
工业气体(71.100.20)
】
-
CCS分类:
【
化工(G)
其他化工产品(G85/89)
工业气体与化学气体(G86)
】
-
行标分类:
暂无
描述信息
相关标准
相关部门
-
起草单位:
中国电子技术标准化研究院
江苏南大光电材料股份有限公司
-
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC
203)
-
主管部门:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC
203)
相关人员
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