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GB/T 36646-2018 制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备
Equipment for preparation of nitride semiconductor materials by hydride vapor phase epitaxy
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
电子学（31）
电子电信设备用机电元件（31.220）
】
-
CCS分类：
【
电子元器件与信息技术（L）
电子工业生产设备（L95/99）
电子工业生产设备综合（L95）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
相关标准
相关部门
-
起草单位：
中国电子技术标准化研究院
东莞市中镓半导体科技有限公司
-
主管部门：
全国信息技术标准化技术委员会(SAC/TC
28)
-
归口单位：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC
203)
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