Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry—Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting
基本信息
标准号：
GB/T 36053-2018
名称：
X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告
英文名称：
Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry—Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting
状态：
现行
类型：
国家标准
性质：
推荐性
发布日期：
2018-03-15
实施日期：
2019-02-01
废止日期：
暂无
相关公告：
实施公告【关于批准发布《普通螺纹 公差》等240项国家标准和4项国家标准修改单的公告】
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分类信息
ICS分类：
【化工技术（71）分析化学（71.040）化学分析（71.040.40）】
CCS分类：
【化工（G）化工综合（G00/09）基础标准与通用方法（G04）】
行标分类：
暂无
描述信息
前言：
暂无
适用范围：
暂无
引用标准：
暂无
相关标准
采用标准：
ISO 16413:2013 X射线反射测量法评估薄膜的厚度、密度和界面宽度—仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告 （等同采用 IDT）
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