收藏到云盘
纠错反馈

T/CEMIA 006-2018 膜厚监控用石英晶振片

Quartz crystal resonator for film thickness contro
基本信息
  • 标准号：
    T/CEMIA 006-2018
  • 名称：
    膜厚监控用石英晶振片
  • 英文名称：
    Quartz crystal resonator for film thickness contro
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    团体标准
  • 性质：
    强制性
  • 发布日期：
    2018-12-14
  • 实施日期：
    2019-03-14
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    暂无
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了膜厚监控用石英晶振片的产品分类、技术要求、试验和测量方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存的要求。本标准适用于半导体、LED、OLED、激光红外、光学镜片器材等行业镀膜用膜厚监控石英晶振片。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB/T 191-2008 GB/T 2421.1-2008 GB/T 2828.1-2012 GB/T 3352-2012 GB/T 12273.1-2017 SJ/Z 9154.3-1987 RoHS指令/2011/65/EU
相关部门
  • 起草单位：
    武汉海创电子股份有限公司 北京晨晶电子有限公司 唐山万士和电子有限公司 唐山国芯晶源电子有限公司 江苏省东海硅产业科技创新中心
  • 发布部门：
    中国电子材料行业协会
  • 提出部门：
    中国电子材料行业协会
  • 归口单位：
    中国电子材料行业协会
相关人员
  • 起草人：
    李剑 李洁 毛晶 王丽娟 张立强 张翔 宫桂英 李健德 陈中康
关联标准