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T/CEMIA 006-2018 膜厚监控用石英晶振片

Quartz crystal resonator for film thickness contro
基本信息
  • 标准号:
    T/CEMIA 006-2018
  • 名称:
    膜厚监控用石英晶振片
  • 英文名称:
    Quartz crystal resonator for film thickness contro
  • 状态:
    现行
  • 类型:
    团体标准
  • 性质:
    强制性
  • 发布日期:
    2018-12-14
  • 实施日期:
    2019-03-14
  • 废止日期:
    暂无
  • 相关公告:
    暂无
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分类信息
  • ICS分类:
    电子学(31) 频率控制和选择用压电器件与介质器件(31.140)
  • CCS分类:
    电子元器件与信息技术(L) 电子元件(L10/34) 石英晶体、压电元件(L21)
  • 行标分类:
    暂无
描述信息
  • 前言:
    暂无
  • 适用范围:
    本标准规定了膜厚监控用石英晶振片的产品分类、技术要求、试验和测量方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存的要求。本标准适用于半导体、LED、OLED、激光红外、光学镜片器材等行业镀膜用膜厚监控石英晶振片。
  • 引用标准:
    暂无
相关标准
  • 引用标准:
    GB/T 191-2008 GB/T 2421.1-2008 GB/T 2828.1-2012 GB/T 3352-2012 GB/T 12273.1-2017 SJ/Z 9154.3-1987 RoHS指令/2011/65/EU
相关部门
  • 起草单位:
    武汉海创电子股份有限公司 北京晨晶电子有限公司 唐山万士和电子有限公司 唐山国芯晶源电子有限公司 江苏省东海硅产业科技创新中心
  • 发布部门:
    中国电子材料行业协会
  • 提出部门:
    中国电子材料行业协会
  • 归口单位:
    中国电子材料行业协会
相关人员
  • 起草人:
    李剑 李洁 毛晶 王丽娟 张立强 张翔 宫桂英 李健德 陈中康
关联标准
  • GB/T 12275-1990 石英晶体振荡器型号命名方法
  • GB 11310-1989 压电陶瓷材料性能测试方法 相对自由介电常数温度特性的测试
  • GB 11387-1989 压电陶瓷材料静态弯曲强度试验方法
  • YS/T 42-1992 钽酸锂单晶
  • SJ 2051-1982 石英谐振器外形尺寸
  • GB/T 12862-1991 电子设备用压电陶瓷谐振器分规范 高频压电陶瓷谐振器 (可供认证用)
  • GB 11311-1989 压电陶瓷材料性能测试方法 泊松地σE的测试
  • SJ/T 2964.2-2013 电子元器件质量评定体系规范 压电陶瓷鉴频器 第2部分:分规范 鉴定批准
  • GB/T 22319.8-2008 石英晶体元件参数的测量 第8部分:表面贴装石英晶体元件用测量夹具
  • GB/T 22318.1-2008 声表面波谐振器 第1-1部分:总则和标准值
  • GB/T 12861-1991 电子设备用压电陶瓷谐振器空白详细规范 低频压电陶瓷谐振器 评定水平 E(可供认证用)
  • SJ/T 11570.2-2016 介电滤波器 第2部分:使用指南
  • GB/T 12859.2-2012 电子元器件质量评定体系规范 压电陶瓷谐振器 第2部分:分规范- 鉴定批准
  • DB52/T 862-2013 贵州省压电陶瓷雾化元件详细规范
  • SJ/T 2960.2-2013 电子元器件质量评定体系规范 压电陶瓷陷波器 第2部分:分规范 鉴定批准
  • GB/T 12273.501-2012 石英晶体元件 电子元器件质量评定体系规范 第5.1部分:空白详细规范 鉴定批准
  • GB/T 12859-1991 电子设备用压电陶瓷谐振器总规范 (可供认证用)
  • GB/T 11309-1989 压电陶瓷材料性能测试方法 纵向压电应变常数d33的准静态测试
  • SJ/T 11457.4-2013 波导型介电谐振器 第4部分:分规范
  • GB 12274-1990 石英晶体振荡器总规范(可供认证用)
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