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GB/T 37007-2018 电子级三甲基镓

Electronic grade trimethylgallium
基本信息
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了三甲基镓的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全。
    本标准适用于镓镁合金法、三氯化镓法、格式试剂法三种化学合成法制备并经精制纯化的三甲基镓。该产品主要用于生长化合物半导体薄膜材料等。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB 190 GB/T 3723 GB/T 6680 GB/T 11446.1 GB 12463 GB 15258 GB 15603 GB 50073
相关部门
  • 起草单位：
    中国电子技术标准化研究院 江苏南大光电材料股份有限公司
  • 归口单位：
    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
相关人员
暂无
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