收藏到云盘
纠错反馈

YS/T 1290-2018 多晶硅生产尾气中硅烷含量的测定 气相色谱法

基本信息
  • 标准号：
    YS/T 1290-2018
  • 名称：
    多晶硅生产尾气中硅烷含量的测定 气相色谱法
  • 英文名称：
    暂无
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    行业标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2018-10-22
  • 实施日期：
    2019-04-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【2019年第1号(总第229号)】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了硅烷法生产多晶硅尾气中硅烷含量的气相色谱测定方法。
    本标准适用于硅烷法生产多晶硅尾气中硅烷含量的测定。测定范围为0.050%～10.00%。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
暂无
相关部门
暂无
相关人员
暂无
关联标准